Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9150542 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9150542
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
CVD System, 12"
Process: BPSG
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Single-Wafer-Chargenlastreaktor, der für die Epitaxie von hochreinen Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Es eignet sich für die Herstellung von Dünnschichtquellen und Geräten, die eine breite Palette von Abscheidungstemps mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und minimaler Kontamination erfordern. Die SE-Verpackung verwendet ein hocheffizientes Wafer-Heizelement in Verbindung mit einem fortschrittlichen Gasfördersystem, um eine Qualitätsabscheidung zu erzielen, was zu einem kostengünstigen Prozess führt. Zu den Innovationen von AMAT Producer SE gehört ein beheiztes Wafer-Spannfutter, das eine gleichmäßige Erwärmung über den gesamten Wafer für eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Drosselungsfähigkeit für eine verbesserte Prozesssteuerung liefert. Die Fähigkeit, sowohl im Chargen- als auch im kontinuierlichen Modus zu oeprieren, erhöht die Flexibilität des Produktionsprozesses. Das fortschrittliche Mehrzonen-Heiz- und Gasstromverteilungssystem sorgt für eine konsistente Produktion in einer geschlossenen Prozessumgebung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller SE verwendet auch mit überlegenem Materialdurchsatz und Produktivität. Die Hochdurchsatz-Förderkomponenten, gepaart mit einem intelligenten Wafer-Level-Prozessüberwachungssystem, sorgen für einen verschmutzungsfreien Prozess, der sich durch schnelle Zykluszeiten und ausgezeichnete Gleichmäßigkeit auszeichnet. Der Reaktor ist für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen ausgelegt. Es wird eine Auswahl von bis zu drei Standard-Substratbootgrößen angeboten, und eine Vielzahl von Gasfördersystemen ermöglicht eine Reihe von Ablagerungsrezepten. Darüber hinaus ist der Reaktor selbstreinigend und verfügt über ein hochauflösendes Pyrometer, das die Wafertemperatur während der Abscheidung genau überwacht. Produzent SE ist eine ideale Produktionslösung für eine Vielzahl von Hochleistungs-Halbleiterprodukten. Mit seiner effizienten Auslegung und vielseitigen Arbeitsweise bietet der Reaktor jedem Halbleiterhersteller, der hohe Abscheidungsprozesse benötigt, ein hervorragendes Wertangebot.
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