Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9153559 zu verkaufen
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ID: 9153559
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
CVD System, 12"
(2) Chambers
Chamber A and B:
Chamber process: XJ (PE Si-lane twin)
APEX 3000 RF Generator
Gas delivery:
Gas pallet type: Surface mount vertical
No regulated gas panel
No regulated TMS
Top gas feed
Gas panel cabinet exhaust: Top
No facilities interlock indicator
SETRA Transducers
Nippon filter
Manual and pneumatic valves: Hamlet
No liquid source
Gases:
Chamber A:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 15000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Chamber B:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 1000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Mainframe:
No local center finder
No Cu wafer sensor
Third MF IO motion card
Robot blade: Standard VHP
Factory interface, 12":
Options: 5.3
WIP Delivery type: OHT
Wafer pass thru and storage: DSM Specific cooling tray
KAWASAKI Track robot with edge grip
No docked E99 reading capability
Load port types: Enhanced 25 wafer FOUP
Load port operator interface: Standard 9 light
No configurable color lights
No docking flange shield
Front facing intake plenum air system
E84 Pl/O Sensors and cables: Upper E84 sensors and cables
OHT Light curtain
Carrier ID host interface
(3) Colors configurable light towers
Heat exchanger:
No AMAT / APPLIED MATERIALS HX Hose and manifolds
Remote AC:
Facilities UPS interface
Chamber configuration:
Channel A / Channel B:
BFC
Foreline, 2"
T/V Type: 683B
0090-05813 RF Filter
RPS
FFU Controller
Power supply: 200-208 VAC, 60 Hz
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein einziger Planetenreaktor, der von AMAT, einem weltweit führenden Anbieter von fortschrittlichen Halbleiterausrüstungen, entworfen und hergestellt wurde. Dieser Reaktor kombiniert fortschrittliche Funktionen mit einfach zu bedienender Software, um einheitliche, präzise und zuverlässige Ergebnisse bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleitermaterialien für Anwendungen mit hoher Leistung, geringer Leistung und Zuverlässigkeit zu erzielen. Der Single-Wafer Advanced Materials AMAT Producer SE ist ideal für Prozessingenieure und Wissenschaftler und kann qualitativ hochwertige Ergebnisse für eine breite Palette von Dünnschichtprozessen und Substraten liefern. Der Reaktor bietet genaue und wiederholbare Waferproduktion mit Prozessgleichförmigkeit, Zuverlässigkeit und Waferform Konsistenz. Der Reaktor ist mit einer Prozesskammer ausgerüstet, die für Ultrahochvakuum (UHV) - und Nahvakuum (NV) -Prozesse abgedichtet ist. Die Anlage ist darauf ausgelegt, Prozesse sowohl auf Einzel- als auch auf Mehrfachwafersubstraten zu realisieren und mehrere Gase gleichzeitig zu verarbeiten. Der Reaktor ist auch mit einem Abscheidungsfenster mit geringem Emissionsgrad ausgestattet, das dem Benutzer einen direkten Blick beim Abscheiden von Materialien gibt, sowie ein Kühlschranksystem, das kühle Prozessgase auf einer konstanten Temperatur hält. Für Kontrolle und Service wird APPLIED MATERIALS Producer SE von einer Suite von Easy-to-Use Software unterstützt, die von APPLIED MATERIALS entwickelt wurde. Diese Suite bietet eine intuitive Benutzeroberfläche für Schulung, Wartung, Überwachung und Service. Darüber hinaus ermöglicht die Softwareplattform des Herstellers die Anpassung an individuelle Anforderungen an Einheit und Ablagerung. Producer SE bietet eine Reihe von Funktionen zur Maximierung der Produktion und zur Steigerung der Produktivität. Es ist mit automatischen Wafer-Zentrierfahrzeugen und Robotik-Systemen ausgestattet, die Substrate an Ort und Stelle halten und Ertragsverluste minimieren. Darüber hinaus gewährleistet die fortschrittliche digitale Bearbeitungssteuerungsmaschine eine optimale Prozessgeschwindigkeit und Positionsgenauigkeit sowie ein kontinuierliches Feedback zum Zustand des Wafers. Der Single-Wafer Advanced Materials AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ermöglicht eine schnelle und einfache Prozessabwicklung und -kontrolle und ist so konzipiert, dass höchste Ausbeute und Qualität gewährleistet sind. Es ist eine zuverlässige und kostengünstige Wahl für Halbleiterhersteller, die ihre Produktion optimieren und die besten Ergebnisse erzielen möchten.
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