Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9153559 zu verkaufen

ID: 9153559
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
CVD System, 12" (2) Chambers Chamber A and B: Chamber process: XJ (PE Si-lane twin) APEX 3000 RF Generator Gas delivery: Gas pallet type: Surface mount vertical No regulated gas panel No regulated TMS Top gas feed Gas panel cabinet exhaust: Top No facilities interlock indicator SETRA Transducers Nippon filter Manual and pneumatic valves: Hamlet No liquid source Gases: Chamber A: Gas position / Gas / MFC Size Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM Gas 2 / H2 / 15000 SCCM Gas 8 / O2 / 30000 SCCM Gas 9 / AR / 15000 SCCM Gas 10 / HE / 5000 SCCM Gas 13 / N2 / 15000 SCCM No regulator No transducer Chamber B: Gas position / Gas / MFC Size Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM Gas 2 / H2 / 1000 SCCM Gas 8 / O2 / 30000 SCCM Gas 9 / AR / 15000 SCCM Gas 10 / HE / 5000 SCCM Gas 13 / N2 / 15000 SCCM No regulator No transducer Mainframe: No local center finder No Cu wafer sensor Third MF IO motion card Robot blade: Standard VHP Factory interface, 12": Options: 5.3 WIP Delivery type: OHT Wafer pass thru and storage: DSM Specific cooling tray KAWASAKI Track robot with edge grip No docked E99 reading capability Load port types: Enhanced 25 wafer FOUP Load port operator interface: Standard 9 light No configurable color lights No docking flange shield Front facing intake plenum air system E84 Pl/O Sensors and cables: Upper E84 sensors and cables OHT Light curtain Carrier ID host interface (3) Colors configurable light towers Heat exchanger: No AMAT / APPLIED MATERIALS HX Hose and manifolds Remote AC: Facilities UPS interface Chamber configuration: Channel A / Channel B: BFC Foreline, 2" T/V Type: 683B 0090-05813 RF Filter RPS FFU Controller Power supply: 200-208 VAC, 60 Hz 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein einziger Planetenreaktor, der von AMAT, einem weltweit führenden Anbieter von fortschrittlichen Halbleiterausrüstungen, entworfen und hergestellt wurde. Dieser Reaktor kombiniert fortschrittliche Funktionen mit einfach zu bedienender Software, um einheitliche, präzise und zuverlässige Ergebnisse bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleitermaterialien für Anwendungen mit hoher Leistung, geringer Leistung und Zuverlässigkeit zu erzielen. Der Single-Wafer Advanced Materials AMAT Producer SE ist ideal für Prozessingenieure und Wissenschaftler und kann qualitativ hochwertige Ergebnisse für eine breite Palette von Dünnschichtprozessen und Substraten liefern. Der Reaktor bietet genaue und wiederholbare Waferproduktion mit Prozessgleichförmigkeit, Zuverlässigkeit und Waferform Konsistenz. Der Reaktor ist mit einer Prozesskammer ausgerüstet, die für Ultrahochvakuum (UHV) - und Nahvakuum (NV) -Prozesse abgedichtet ist. Die Anlage ist darauf ausgelegt, Prozesse sowohl auf Einzel- als auch auf Mehrfachwafersubstraten zu realisieren und mehrere Gase gleichzeitig zu verarbeiten. Der Reaktor ist auch mit einem Abscheidungsfenster mit geringem Emissionsgrad ausgestattet, das dem Benutzer einen direkten Blick beim Abscheiden von Materialien gibt, sowie ein Kühlschranksystem, das kühle Prozessgase auf einer konstanten Temperatur hält. Für Kontrolle und Service wird APPLIED MATERIALS Producer SE von einer Suite von Easy-to-Use Software unterstützt, die von APPLIED MATERIALS entwickelt wurde. Diese Suite bietet eine intuitive Benutzeroberfläche für Schulung, Wartung, Überwachung und Service. Darüber hinaus ermöglicht die Softwareplattform des Herstellers die Anpassung an individuelle Anforderungen an Einheit und Ablagerung. Producer SE bietet eine Reihe von Funktionen zur Maximierung der Produktion und zur Steigerung der Produktivität. Es ist mit automatischen Wafer-Zentrierfahrzeugen und Robotik-Systemen ausgestattet, die Substrate an Ort und Stelle halten und Ertragsverluste minimieren. Darüber hinaus gewährleistet die fortschrittliche digitale Bearbeitungssteuerungsmaschine eine optimale Prozessgeschwindigkeit und Positionsgenauigkeit sowie ein kontinuierliches Feedback zum Zustand des Wafers. Der Single-Wafer Advanced Materials AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ermöglicht eine schnelle und einfache Prozessabwicklung und -kontrolle und ist so konzipiert, dass höchste Ausbeute und Qualität gewährleistet sind. Es ist eine zuverlässige und kostengünstige Wahl für Halbleiterhersteller, die ihre Produktion optimieren und die besten Ergebnisse erzielen möchten.
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