Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9163057 zu verkaufen
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ID: 9163057
Vapor control system assembly
Industrial enclosed gas
P/N: 417336-DF-GP.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT) ist eine Ausrüstung für physikalische Aufdampfanwendungen (PVD), die bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden. Der Reaktor bietet die Umgebung für eine effiziente Filmabscheidung mit gleichmäßigen, hochwertigen Ergebnissen. Es wurde entwickelt, um die Prozesskontrolle zu erreichen, was zu überlegenen Erträgen und niedrigeren Betriebskosten führt. Dadurch können die Hersteller ein größeres Volumen an Halbleitern kostengünstiger herstellen. Das komplexe Verfahren zur Herstellung von Halbleitern wird durch die Herstellung eines Films aus metallhaltigen Verbindungen auf einem Substrat erreicht. Diese Folie wird dann auf einen strukturierten Wafer abgeschieden. Der konventionelle PVD-Abscheidungsprozess verläuft langsam, mit inakzeptabler Prozessvariation. Hier macht die AMAT Producer SE einen Unterschied. APPLIED MATERIALS Producer SE nutzt ein innovatives Konzept namens Reactive Enhanced PVD (REPVD). Diese Technik erhöht die Prozessausbeuten, indem eine Reaktion zwischen der Vakuumkammer, dem Substrat und dem filmbildenden Vorläufergas genutzt wird. Die Reaktion erfolgt dadurch, daß die Kammer auf eine Temperatur im Bereich von 230 bis 270 ° C erhitzt wird, wodurch die Reaktionspartner auf dem Substrat einen Haftfilm bilden. Der Abscheideprozess wird mit integrierter Feedback-Steuerung weiter optimiert, so dass die Hersteller alle Aspekte des Prozesses feinjustieren und überwachen können. Weitere Merkmale von Producer SE sind ein Hochsilizium-Durchsatz-Schichtsystem für Gleichmäßigkeit in großen Bereichen und eine fortschrittliche PowerMax-Technologie für die Hochgeschwindigkeitsabscheidung. Darüber hinaus bietet AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE verschiedene Sicherheitsmerkmale. Dazu gehört eine patentierte Active Carrier Cleaning Unit, die die Kammer sauber hält und eine aktive Reaktionsschutzmaschine, die den Druck überwacht und im optimalen Bereich hält. Diese Funktionen gewährleisten jederzeit einen sicheren Prozess. Insgesamt ist AMAT Producer SE ein leistungsstarkes Werkzeug für die Halbleiterherstellung. Es kombiniert die neuesten Fortschritte in der PVD-Abscheidetechnologie mit Funktionen, die Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit gewährleisten. Dank seiner Vielseitigkeit eignet es sich sowohl für großflächige als auch für kleine Herstelleranwendungen.
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