Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9182254 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (Plasma Enhanced Epitaxy Reactor) ist ein kommerzielles, Plasma-basiertes Epitaxie-Verfahren, das für hochwertiges Halbleiterwachstum sowohl auf Silizium als auch auf Nicht-Silizium-Substraten verwendet wird. AMAT Producer SE bietet volle Prozesskontrolle mit einer äußerst zuverlässigen, anspruchsvollen und kostengünstigen Produktionsplattform. Der Reaktor ist in der Lage, hochwertige Folien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und ausgezeichneter Flexibilität für die Prozessabstimmung zu liefern. Es ist das fortschrittlichste, kosteneffiziente Plasma-Epitaxiewerkzeug und ideal für die Serienproduktion. APPLIED MATERIALS Producer SE bietet eine Reihe von Funktionen wie eine einzigartige parallele Plasmaquellenkonfiguration, einstellbare Schlitzverschlusstechnologie, geringe Fehlerdichten und eine große Auswahl an Abscheideprozessfähigkeiten. Die Parallelplasmaquellenkonfiguration ermöglicht Wafer-zu-Wafer-Prozessgleichförmigkeit und überlegene Dotierstoffgleichförmigkeit über große Waferdurchmesser. Die verstellbare Schlitzverschlusstechnologie ermöglicht eine präzise Steuerung der Tiefe der Plasmadiffusion und beseitigt Schwankungen durch unterschiedliche Gate-Vorspannungen. Darüber hinaus sorgen die geringe Fehlerdichte und die breite Palette an Filmabscheidungsfähigkeiten für hohe Ausbeuten an fehlerfreien Hochleistungsfolien und die Fähigkeit, Folieneigenschaften auf spezifische Geräteanforderungen abzustimmen. Der Reaktor eignet sich gut für die Geräteherstellung mit einer Skalierung von 200 mm bis 300 mm Wafern mit einer Mindesteigenschaftsgröße von 8 nm. Es eignet sich für viele verschiedene Abscheidungsprozesse, darunter für Silizium- und Nichtsiliziumsubstrate, wie Siliziumnitrid, Niederdruck-CVD, PECVD, SiGe und HFO. Produzent-SE-Prozessor verfügt über die Fähigkeit, drei separate Step-Flow-Prozesse automatisch in die Standardverarbeitung zu integrieren und verschiedene Abscheidungsprozesse zu kombinieren. Die AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE bietet auch eine Chargenverarbeitung über eine Vielzahl von Temperaturen sowie eine hohe Abscheidung und schnellere Backzeiten. Die hochgenauen Netzteile des Reaktors bieten eine präzise Steuerung der Filmdicken bis hin zu Oxiddicken von 0,5-1,0 nm. Eine Vielzahl von nichtinvasiven Diagnostika kann am Reaktor durchgeführt werden, wie Druckwechselanalyse, HF-Prüfung, Wafer-Überwachung und Abscheidungsgleichförmigkeitsprüfung. Schließlich übertrifft AMAT Producer SE die Anforderungen der Industrie an Leistung und Zuverlässigkeit, was durch seine extrem geringe radiale Drift über die Lebensdauer des Produkts gezeigt wird. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Producer SE das zuverlässigste und kostengünstigste Werkzeug für die Abscheidung von hochwertigen Epitaxiefilmen für verschiedene Halbleiteranwendungen. Es bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die eine überlegene Prozessgleichmäßigkeit und ausgezeichnete Flexibilität für die Prozessabstimmung gewährleisten und die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente mit hohem Volumen ermöglichen.