Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9198863 zu verkaufen
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ID: 9198863
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CVD System, 12"
Process: BPSG
2 Channels
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein hochwertiger PECVD-Reaktor (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), der für die Dünnschichtabscheidung auf großflächigen Substraten entwickelt wurde. Dieser Reaktor arbeitet bei Temperaturen bis 200 ° C und verfügt über Hochfrequenzleistungsunterstützung für hohe Abscheiderate. AMAT Producer SE ist eine kostengünstige und zuverlässige Plattform für die Serienfertigung komplexer Halbleiterbauelemente wie integrierte Schaltungen, Optoelektronik und MEMS (mikroelektromechanische Systeme). ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller SE hat eine proprietäre Gaskastenkonstruktion, die mehrere Gasströme in und aus der Prozesskammer ermöglicht. Dadurch wird eine hohe Genauigkeit der Prozeßchemie gewährleistet, was zu gleichmäßiger Dünnschichtabscheidung und hohen Ausbeute führt. Die Zweizonen-PECVD-Prozesskammer ist so konzipiert, dass sie eine Vielzahl von Substratverarbeitungskonfigurationen ermöglicht, z. B. sowohl obere/untere als auch gleichzeitige/sequenzielle Abscheidungsfunktionen. Diese Vielseitigkeit ermöglicht die Abscheidung verschiedener Dünnschichtmaterialien wie Oxide, Nitride, Metalle und Polysilizium. Hersteller SE verfügt über eine umfassende Reihe von Diagnosen und berührungslosen Temperaturmessungen, die präzise Temperaturprofildaten liefern, um eine genaue Prozesskontrolle zu ermöglichen. Es verwendet ein fortschrittliches Prozessleitsystem, das alle Prozessparameter in eine einfach zu bedienende Suite von Tools integriert. Dies ermöglicht eine dynamische Parameteranpassung und Optimierung der Prozessbedingungen ohne Programmänderung. Zusätzlich liefert die integrierte Diagnose in Echtzeit Feedback zu den Prozessbedingungen und der Effizienz des Prozesses. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist auf Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit im Langzeitbetrieb ausgelegt. Sein modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Wartung und Upgrade-Funktionen, so dass Upgrades durchgeführt werden können, um die Produktivität und Prozesskontrolle zu verbessern. Das System ist zudem sehr energieeffizient, mit einem Niederdruck-Betriebsdesign für reduzierte CO2-Emissionen, was es zu einer nachhaltigeren Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen macht. Insgesamt ist AMAT Producer SE ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug für die PECVD-Abscheidung. Es verfügt über eine Doppelkammer-Design und mehrere Gasströme für genaue Chemie-Kontrolle, so dass eine genaue Abscheidung einer Vielzahl von Dünnschichtmaterialien. Darüber hinaus verfügt es über ein umfassendes Diagnose- und Prozessleitsystem für präzise Temperaturprofile und Prozesssteuerung. Sie ist auf Energieeffizienz und Nachhaltigkeit sowie langfristige Zuverlässigkeit ausgelegt.
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