Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203837 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9203837
Wafergröße: 12"
Twin chamber, 12" Process: HT SiN (2) APF.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein hochmoderner Abscheide- oder Ätzreaktor auf Plasmabasis, der für eine Vielzahl von Halbleiterwaferherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Das effiziente Design des Reaktors integriert fortschrittliche Prozessautomatisierungs-, Steuerungs- und Überwachungssysteme für hochpräzise Ergebnisse. Die verkleidete Edelstahl-Vakuumkammer ermöglicht eine Hochdurchsatzverarbeitung mit großzügigem Platz für Substrate und einer Vielzahl von Detektor- und Monitorkonfigurationen. Die Präzisionsbearbeitungsfähigkeiten von AMAT Producer SE ermöglichen eine überlegene Prozessgleichmäßigkeit, Kantensteuerung und Sauberkeit, die von führenden Halbleiterherstellern weit bevorzugt wird. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller SE verwendet eine einzigartige und effizientere Nicht-Bell-Zyklon-Gaszufuhrausrüstung, die reichere In-situ-Gaszusammensetzungen und höhere Plasmadichten ermöglicht, die für einen erhöhten Durchsatz und eine verbesserte Prozesskontrolle erforderlich sind. Der Reaktor eignet sich gut für ein umfangreiches Sortiment an Einzelwafer- und Cluster-Werkzeuganwendungen, einschließlich Ätzen, Reinigen und Abscheiden. Sein Lastverriegelungssystem sorgt für einen minimalen Gasverlust zu jeder Zeit und kann Substrate bis zu 200mm Größe aufnehmen und gleichzeitig viele Konfigurationen von Heiz- und Kühlstrukturen aufnehmen. Produzent SE bietet auch erweiterte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen. Es verfügt über ein Advanced Process Control (APC) -Modul, das eine Echtzeit-Rückkopplungssteuerung von Prozessvariablen bietet. Seine Software enthält auch regelbasierte Steuerung von einzelnen Wafer- oder Cluster-Tool-Anwendungen. Darüber hinaus bietet es flexible Rezeptentwicklung und -ausführung, automatische Alarmanlagen und Zugriff auf statistisch aussagekräftige Daten. Schließlich machen die fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen des Reaktors ihn zu einem zuverlässigen und sicheren Werkzeug für Anwendungen mit mehreren Benutzern. Seine patentierte Sicherheitsverkleidung verwendet röntgendichtes Glas und bietet Zugang zu Schlüsselkomponenten, ohne die Druckintegrität des Reaktors zu beeinträchtigen. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte erweiterte Sicherheitseinheit Systemadministratoren, Rezepte und Einstellungen für die Maschinenintegrität jederzeit mit einem Passwort zu schützen. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE setzt durch Präzision, Prozesssteuerung und Sicherheitsmerkmale den Standard für innovative Halbleiterwaferherstellungsprozesse. Es bietet der Industrie eine effiziente, zuverlässige und sichere plasmabasierte Abscheide- und Ätzlösung.
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