Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204008 zu verkaufen
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ID: 9204008
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Twin chamber, 12"
Process: APF
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
HF RF Generator: 0920-00107(Apex3013)
Ceramic heater: AIN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC box: 0195-01042
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Manometer: 20T / 100T
Throttle valve: 683B-26033
ISO Valve: 99D0654
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
AL Spacer
Gas configuration:
Gas Size(sccm) MFC Filter Valve
Stick 1 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 2 AR 5,000 UFC-8565 NAS Hamlet
Stick 3 HE 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 4 C3H6 3,000 IFC-125 NAS Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 7 N2 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 10 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 11 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 12 NF3 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 13 AR 10,000 UFC-8565C NAS Hamlett
Aluminum slit insert missing
Lift ring(Fixed type): Localized
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein fortschrittlicher PECVD-Reaktor (Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition), der für die Herstellung von hochwertigen Folien entwickelt wurde, die gegen chemische und physikalische Schäden resistent sind. Dieser Reaktor kann dünne Filme aus Nitrid, Oxid und dielektrischem Material sowie Diamant und amorphen Materialien abscheiden. Es verfügt über eine leistungsstarke, aber stabile und präzise digitale Antriebsstromquelle, die eine präzise Kontrolle über Abscheideraten und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Diese Eigenschaften machen AMAT Producer SE zu einer idealen Wahl für die Herstellung verschiedener dünner Folien, die für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden. Die Hauptkomponenten von APPLIED MATERIALS Producer SE sind seine Kammer, Abscheidungsquelle, Unterstützung und Automatisierung. Die Kammer ist für den hochdichten PECVD-Betrieb ausgelegt, der höhere Abscheidegeschwindigkeiten als herkömmlichere CVD-Systeme ermöglicht. Es besteht aus Edelstahl und verfügt über mehrere Vakuumdichtungen, um ein Vakuum aufrechtzuerhalten, wenn das System in Betrieb ist. Die Quelle befindet sich oben im Reaktor und umfasst einen Mikrowellen- und HF-Plasmagenerator, ein Gasausgabeventil und einen Substratträger. Der Mikrowellengenerator ist mit einer Frequenzsteuereinheit ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Leistung und Frequenz der Mikrowellenenergie ermöglicht. Die HF-Quelle bietet eine zusätzliche Stromquelle und erhöht die Abscheiderate. Der Substratträger besteht aus einem Edelstahlrahmen mit Aluminiumoxidkeramikfenstern, der eine gleichmäßige Erwärmung des Substrats gewährleistet. Das Automatisierungssystem umfasst einen computergesteuerten Roboterarm zum Be- und Entladen von Substraten sowie eine Prozessautomatisierungssoftware zur Steuerung des Abscheideprozesses. Producer SE ist eine hochentwickelte Plattform zur Herstellung überlegener Dünnfilme. Seine Fähigkeit, Folien zu erstellen, die extrem resistent gegen chemischen und physikalischen Abbau sind, machen es eine gute Wahl für viele industrielle Anwendungen. Es ist auch in der Lage, einheitliche Filme mit überlegener Leistung und Reproduzierbarkeit abzuscheiden. Die robuste digitale Antriebsstromquelle macht es auch zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Geräten und entstehenden Materialien für Halbleiterbauelemente der nächsten Generation.
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