Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204009 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9204009
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Twin chamber, 12"
Process: APF
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
HF RF Generator: 0920-00107(Apex3013)
Ceramic heater: AlN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC box: 0195-01042
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-26033
ISO Valve: 99D0654
Manometer: 20T / 100T
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
AL Spacer
Gas configuration:
Gas Size(sccm) MFC Filter Valve
Stick 1 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 2 AR 5,000 UFC-8565 NAS Hamlet
Stick 3 HE 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 4 C3H6 3,000 IFC-125 NAS Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 7 N2 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 10 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 11 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 12 NF3 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 13 AR 10,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Lift ring(Fixed type): Localized
Missing parts:
Foreline
Heater lift driver
Aluminum slit insert
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein gemeinsamer Reaktor, der hauptsächlich für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und anderen industriellen Anwendungen entwickelt wurde. Es wird von AMAT, Inc. hergestellt und ist so konzipiert, dass eine schnelle, effiziente und präzise Bedienung durch eine umfassende Palette von Werkzeugsteuerungs-, Datenübertragungs- und Überwachungsfunktionen ermöglicht wird. Die AMAT Producer SE besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Reaktionskammer, einer Vakuumanlage, einer Prozessgasförderanlage, einem Injektor, einem Förderband, einer Kühleinheit und einer Abgasreinigungsmaschine. Die Reaktionskammer dient zur Aufnahme und Isolierung der Umgebung innerhalb des Reaktors. Es ist mit einem vorgelagerten Vakuumwerkzeug ausgestattet, das ein integraler Bestandteil des gesamten Vermögenswertes ist. Das Prozessgasabgabemodell erleichtert die Zuführung der erforderlichen Prozessgase in die Reaktionskammer. Der Injektor leitet und nimmt die für den Prozess erforderlichen Chemikalien auf, während das Förderband zum Bewegen von Material innerhalb der Kammer verwendet wird. Die Kühleinrichtung wird verwendet, um die Temperatur in der Kammer zu regulieren, während die Abgasreinigungsanlage hilft, sicherzustellen, dass alle Verunreinigungen aus der Umgebung entfernt werden, bevor das Produkt freigegeben wird. APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein mehrstufiger Reaktor, der für eine Vielzahl von Prozessen eingesetzt werden kann. Es ist in der Lage, eine hohe Prozesskontrolle bereitzustellen, einschließlich einer genauen Kontrolle der Reaktionsparameter, der Injektion präziser Mengen von Chemikalien und der Prozessüberwachung. Es ist auch darauf ausgelegt, einen hohen Automatisierungsgrad zu gewährleisten, mit der Fähigkeit, die Betriebsbedingungen dynamisch zu ändern und den Prozess in Echtzeit zu überwachen. Das Gerät kann auch sicher Daten übertragen, sowohl lokal als auch remote, so dass eine einheitliche Plattform für die Verwaltung und Steuerung des Prozesses. Hinsichtlich der Sicherheitsmerkmale umfasst die Producer SE eine Reihe sicherheitsrelevanter Einstellungen und Alarme, um die Sicherheit des Personals und der Prozessumgebung zu gewährleisten. Zum Beispiel ist es mit einer eingebauten Sicherheitsverriegelungsmaschine ausgestattet, die verhindert, dass der Prozess funktioniert, wenn bestimmte Bedingungen nicht erfüllt sind. Das Tool bietet auch eine umfassende Überwachung und Protokollierung aller Prozessparameter, die eine schnelle und einfache Diagnose aller prozessbezogenen Probleme ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Mit seiner Fähigkeit, ein hohes Maß an Automatisierung, Prozessgenauigkeit und Sicherheit bereitzustellen, kann es einen Mehrwert für den Herstellungsprozess bringen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor