Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204012 zu verkaufen
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ID: 9204012
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Twin chamber, 12"
Process: HT SiN
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
Ceramic heater: AIN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC Box: 0195-02428
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-24562
ISO Valve: SMC XZ-218
Manometer: 10T / 100T
HF RF Generator:
0920-00085
0920-00107
Process kits:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping Ring
Spacer
Lift hoop
EQ Liner
Liner
Nitch
Gas panel configuration:
Gas Size MFC Filter Valve
Stick 3 N20 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 4 N20 1,000 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 6 SiH4 1,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 7 NH3 700 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 8 HE 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 9 N2 25,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 10 NH3 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 11 N2 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 12 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 13 NF3 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 14 AR 10,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 15 N2 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Junction box missing
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist eine fortschrittliche Reaktorplattform für die Herstellung von Siliziumwafern. Es ist das branchenweit erste Einwafer-Verarbeitungssystem mit 300mm Durchmesser, das integrierte Schaltungen höchster Qualität für die Elektronikindustrie schafft. AMAT Producer SE verarbeitet Halbleiterscheiben mit der höchsten Rendite in der Branche. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die hochmoderne Technologie des Herstellers SE wurde entwickelt, um die gesamte Waferbearbeitung und -ausbeute zu verbessern. Der Reaktor umfasst zwei Komponenten, um maximale Leistung und Flexibilität zu gewährleisten: das Clusterwerkzeug und das Prozessmodul. Das Clusterwerkzeug ist einer der Hauptbestandteile des Reaktors und verantwortlich für die Herstellung fortschrittlicher Prozesse in einer Einzel-Wafer-Umgebung. Dieses Tool arbeitet, um Produktionsflexibilität, Effizienz und Kosteneinsparungen zu maximieren. Das Traubenwerkzeug schließt fortgeschrittene Eigenschaften wie ein Niedrigtemperaturprozessmodul, vielfache Prozessräume, ein Hochleistungsisolierungsmechanismus und ein auswählendes Liefersystem ein. Es verwendet auch AMAT proprietäre Prozessrezepte, um eine optimale Fertigungsleistung zu gewährleisten. Die zweite Komponente der Producer SE, das Prozessmodul, soll die Verarbeitung in einer Single-Wafer-Umgebung optimieren. Unter Verwendung der proprietären Technologie von APPLIED MATERIALS unterstützt es eine Vielzahl fortschrittlicher Prozesse wie Atomschichtabscheidung, Ionenimplantation, Ionenfräsen und Ätzen. Es funktioniert auch, um Durchsatz, Ausbeute und Integrationsdichte zu erhöhen. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ausgerüstet, um eine breite Palette von Halbleiterscheiben zu handhaben, von 50nm bis 10 Mikron. Es wurde entwickelt, um die fortschrittlichsten Prozesstechnologien zu handhaben, was es zu einer idealen Lösung für diejenigen macht, die komplexe Halbleiterbauelemente für Spitzenmärkte herstellen möchten. AMAT Producer SE ist eine leistungsstarke und zuverlässige Reaktorplattform für die Produktion von Siliziumwafern und bietet die höchsten Erträge im Geschäft.
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