Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215447 zu verkaufen
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ID: 9215447
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
CVD System, 12"
Process: P-TEOS(USG)
(2) Twins
FI Robot: KAWASAKI
Chamber configuration: Chamber-A,B
RPS: MKS FI120620
Heater: ALN
RF:
ADVANCED ENERGY APEX3013
ADVANCED ENERGY PDX-900-2V
Gas delivery
Chamber A&B:
Gas / Size / Model
NF3 / 5slm / Unit 8565C
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
Missing gases for chamber A & B: O2, Ar, He
Missing parts: H/E, HDD, OTF, iPump
Power requirements: 200/208 V, 60Hz
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist einer der führenden Silizium verarbeitenden Reaktoren auf dem Markt. Dieser Reaktor ist für die Herstellung einer Vielzahl von Materialien ausgelegt, einschließlich Silizium für die Herstellung von Chips. Es verfügt über eine breite Palette von Funktionen, um eine effiziente Produktion von hochwertigen Halbleitern zu gewährleisten. AMAT Producer SE hat vier verschiedene Zonen für verschiedene Funktionen. Die erste Zone ist eine Kammer, die für die Verarbeitung von festen Substraten wie Siliziumscheiben ausgelegt ist. Diese Kammer ist mit einer rotierenden Innenwand ausgestattet, um die einströmenden Gase gleichmäßig zu verteilen. Es gibt auch einen verstellbaren Duschkopf zum Aufbringen von flüssigen Vorstufen auf das Substrat. Die zweite Zone, die als „Prozesszone“ bezeichnet wird, ist die Stelle, an der der Metallabscheidungsprozess stattfindet. Diese Zone enthält ein Multi-View-Beleuchtungssystem (MVIM), das die gleichmäßige Abscheidung von Metall auf dem Substrat erleichtert. Das MVIM ermöglicht auch eine größere Kontrolle über Filmdicke, Gleichmäßigkeit und Abdeckung. Die dritte Zone ist die Entlade-/Ladezone, die das Entfernen von fertiggestellten Wafern ermöglicht. Diese Zone ist so konzipiert, dass es einfach ist, Wafer schnell und effizient zu entfernen und zu laden. Die vierte Zone ist das Gas Distribution System (GDS), das verwendet wird, um den Druck und die Geschwindigkeit der Prozessgase beim Durchströmen des Reaktors zu regeln und zu überwachen. APPLIED MATERIALS Producer SE verfügt über eine Reihe von Einstell- und Überwachungsfunktionen, die eine optimale Prozesskontrolle und Stabilität ermöglichen. Dazu gehören Druck- und Temperatursensoren sowie die Fähigkeit, Leistung, Gasdurchflussraten und Kammergröße einzustellen. Der Reaktor verfügt außerdem über ein Computersystem, das eine Fernüberwachung des Prozesses ermöglicht und Leistungsdaten liefert. Produzent SE ist ein hocheffizienter, zuverlässiger Reaktor, der in der Lage ist, hochwertiges Silizium und andere Halbleitermaterialien herzustellen. Seine Eigenschaften machen es zu einer guten Wahl für diejenigen, die zuverlässige und effiziente Halbleiterproduktion suchen.
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