Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215461 zu verkaufen

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ID: 9215461
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CVD System, 12" FI Robot: KAWASAKI (Vacuum EV missing) Chamber A: Nano cure (UV Cure) Chamber B: BD (BlackNN diamond) Chamber C: Blok (Barrier low-k) Gas: IGS Type UV Power supply rack: ASTEX Generator Chamber A: Gas / Model / Flow Ar / UFC-8565 / 30slm He / UFC-8565 / 30slm Chamber B: Gas / Model / Flow O2 / UFC-8565 / 2slm O2 / UFC-8565 / 500sccm He / UFC-8565 / 5slm TMS / UFC-8565 / 750cc He / UFC-8565 / 5SLM He / UFC-8565 / 12slm NF3 / UFC-8565 / 3slm Ar / UFC-8565 / 3slm He / UFC-8565 / 5slm He / UFC-8565 / 10slm Chamber C: Gas / Model / Flow O2 / UFC-8565 / 3slm O2 / UFC-8565 / 500sccm He / UFC-8565 / 5slm O2 / UFC-8565 / 10slm He / UFC-8565 /12slm NF3 / UFC-8565 / 3slm Ar / UFC-8565 / 3slm He / UFC-8565 / 5slm He / UFC-8565 / 5slm Missing gas for chamber B & C: mDEOS ATRP Missing parts: PC Flex Controller unit MF Motion controller CPU board LFC (mDEOSx2, ATRTx2) Chamber B&C: Heater power filter Chamber IO controller unit Lid assy 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Atomschichtabscheidungssystem der nächsten Generation, das für die Produktion mit hohem Durchsatz und Kosteneinsparungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine einzigartige modulare Architektur, eine Prozesskammer mit hoher Absorption und Steueralgorithmen zur Erhöhung der Waferuniformität. Dies ermöglicht einen schnelleren Durchsatz und höhere Kosteneinsparungen ohne Qualitätseinbußen. Die modulare Architektur von AMAT Producer SE macht es zu einer kostengünstigen Lösung für die Gleichmäßigkeit der Waferdicke. Es bietet die Flexibilität, individuell auf die Bedürfnisse beliebiger Produktionsmengen zugeschnitten zu werden. Sein einzigartiges Mehrzonendesign ermöglicht eine parallele Reaktorsteuerung und eine größere Flexibilität bei Prozessparametern zur Erhöhung des Durchsatzes. Zusätzlich können komplexe Reaktorleistungsprofile zur dreidimensionalen Gleichmäßigkeitsverbesserung konfiguriert werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die hochabsorbierende Prozesskammer des Herstellers SE hilft, Verzerrungen bei der Prüfung der Gleichmäßigkeit des Wafers zu minimieren. Es ist in der Lage, gleichmäßige Abscheidung von Nitrid, Oxiden und anderen Materialien über den Wafer. Das System verfügt auch über einen integrierten Computer-Controller für einfache Programmierung und Steuerung. Dies erhöht die Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit und ermöglicht ein schnelles Umschalten zwischen Betriebsparametern. Produzent SE kommt auch mit einem erweiterten Kontrollalgorithmus, um die Gleichmäßigkeit der Waferdicke zu gewährleisten. Dazu gehört ein mehrzoniges konfokales Reflexionssystem, das eine feinfühlige Kontrolle der Abscheidungsmaterialeigenschaften ermöglicht. Es kann auch für die Nachablagerung Verarbeitung verwendet werden, wie Stress-Management und Seitenwand-Profil-Steuerung. Dies hilft, Gleichmäßigkeit über den Wafer zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE eignet sich hervorragend für die Produktion mit hohem Durchsatz und Kosteneinsparungen. Die modulare Architektur, die Prozesskammer mit hoher Absorption und zuverlässige Steuerungsalgorithmen machen es zu einer kostengünstigen und zuverlässigen Wahl für die Herstellung hochwertiger Filme. Es ist eine ideale Wahl für Serienproduktionen und kann zur Senkung der Gesamtbetriebskosten beitragen.
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