Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215461 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9215461
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CVD System, 12"
FI Robot: KAWASAKI (Vacuum EV missing)
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (BlackNN diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 /12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
Missing gas for chamber B & C:
mDEOS
ATRP
Missing parts:
PC
Flex
Controller unit
MF Motion controller CPU board
LFC (mDEOSx2, ATRTx2)
Chamber B&C:
Heater power filter
Chamber IO controller unit
Lid assy
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Atomschichtabscheidungssystem der nächsten Generation, das für die Produktion mit hohem Durchsatz und Kosteneinsparungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine einzigartige modulare Architektur, eine Prozesskammer mit hoher Absorption und Steueralgorithmen zur Erhöhung der Waferuniformität. Dies ermöglicht einen schnelleren Durchsatz und höhere Kosteneinsparungen ohne Qualitätseinbußen. Die modulare Architektur von AMAT Producer SE macht es zu einer kostengünstigen Lösung für die Gleichmäßigkeit der Waferdicke. Es bietet die Flexibilität, individuell auf die Bedürfnisse beliebiger Produktionsmengen zugeschnitten zu werden. Sein einzigartiges Mehrzonendesign ermöglicht eine parallele Reaktorsteuerung und eine größere Flexibilität bei Prozessparametern zur Erhöhung des Durchsatzes. Zusätzlich können komplexe Reaktorleistungsprofile zur dreidimensionalen Gleichmäßigkeitsverbesserung konfiguriert werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die hochabsorbierende Prozesskammer des Herstellers SE hilft, Verzerrungen bei der Prüfung der Gleichmäßigkeit des Wafers zu minimieren. Es ist in der Lage, gleichmäßige Abscheidung von Nitrid, Oxiden und anderen Materialien über den Wafer. Das System verfügt auch über einen integrierten Computer-Controller für einfache Programmierung und Steuerung. Dies erhöht die Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit und ermöglicht ein schnelles Umschalten zwischen Betriebsparametern. Produzent SE kommt auch mit einem erweiterten Kontrollalgorithmus, um die Gleichmäßigkeit der Waferdicke zu gewährleisten. Dazu gehört ein mehrzoniges konfokales Reflexionssystem, das eine feinfühlige Kontrolle der Abscheidungsmaterialeigenschaften ermöglicht. Es kann auch für die Nachablagerung Verarbeitung verwendet werden, wie Stress-Management und Seitenwand-Profil-Steuerung. Dies hilft, Gleichmäßigkeit über den Wafer zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE eignet sich hervorragend für die Produktion mit hohem Durchsatz und Kosteneinsparungen. Die modulare Architektur, die Prozesskammer mit hoher Absorption und zuverlässige Steuerungsalgorithmen machen es zu einer kostengünstigen und zuverlässigen Wahl für die Herstellung hochwertiger Filme. Es ist eine ideale Wahl für Serienproduktionen und kann zur Senkung der Gesamtbetriebskosten beitragen.
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