Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9239732 zu verkaufen
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ID: 9239732
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
CVD System, 12"
Process: ACL
Sub process: HT ACL
SMIF / FOUP
(2) Twin chambers
Chemical: C3H6, NF3
AC Rack
EFEM
Rear monitor
Monitor rack
FFU Panel
Signal cable box
Load module:
(2) Load ports TDK E4
BROOKS MAC8 Loader arm
ALCATEL A100L Dry pump
Transfer module (Platform):
Transfer arm (Robot) BROOKS MAG8
ALCATEL A100L Dry pump
Process module:
(2) Chambers
(2) ALCATEL ADS 1202H Pumps
(2) NPP NPR-S10L RF Generators
(2) Gas boxes
(3) IBM X306 PC
Utility:
Distribution panel
ETC
Gases: CH36, NF3, N2, AR, HE
Operating system: Windows
2007 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (Substratelektrode) ist ein Halbleiterherstellungswerkzeug zum Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Materials auf die Oberfläche eines Substrats. Es nutzt die elektrochemische Abscheidung - die elektrolytische Fähigkeit einer Flüssigkeit, festes Material auf einem Substrat abzuscheiden -, um die konsistente, zuverlässige und stark wiederholbare Abscheidung einheitlicher, präziser Schichten aus leitendem Material zu erreichen. AMAT Producer SE verfügt über eine Reinraumkammer, die eine konsistente Umgebung für den Abscheideprozess bietet. Eine Targetelektrode (Anode) befindet sich direkt oberhalb des Substrathalters (Kathode) in einem mit Elektrolytlösung gefüllten Bereich und es wird ein hoher Strom durch die Lösung angesteuert, um eine elektrochemische Abscheidung des gewünschten Materials zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller SE schützt den flüssigen Elektrolyten mit seinem Chargenbetrieb vor Kontamination und Verdampfung. Es eignet sich auch gut für den automatisierten Betrieb und die Integration mit einer Montagelinie. Für eine gleichmäßige Gleichmäßigkeit nutzt die Kammer Rührmerkmale und ein Rührpaddel, um eine gleichmäßige Materialverteilung auf dem Targetsubstrat zu fördern. Die Zykluszeit für jeden Prozess ist sehr zuverlässig, so dass der Bediener während des Abscheidezyklus keine Variablen berechnen oder einstellen muss. Die Eigenschaften des applizierten Materials sind ebenfalls sehr reproduzierbar, und die scharfe geometrische Steuerung des Applikators ermöglicht die Erzeugung dünner, eng geformter Merkmale. Die Werkzeuge haben auch eine Auflösung und Genauigkeit von Mikrometern. APPLIED MATERIALS/Producer SE bietet ein robustes High-End Electrochemical Deposition (ECD) System mit vielen Funktionen, von schnellen Zykluszeiten und Temperaturkontrollfähigkeit bis hin zum Einsatz zusätzlicher Inertgase für verbesserte Verarbeitungsmöglichkeiten. Darüber hinaus ist das Werkzeug ein effektiver Weg, um qualitativ hochwertige, wiederholbare und reproduzierbare Ergebnisse mit einer breiten Palette von Materialien wie Kupfer, Gold, Aluminium und verschiedenen anderen Metalloxiden zu erzielen. Für weitere Prozesskomplexität ermöglicht die Fähigkeit zur Unterstützung von Ätzrückstand, Ätzstopp, Planarisierung und Kantenabscheidung eine erhöhte Prozesswiederholbarkeit. Das System wird auch von dem Kundendienstpartner von AMAT/APPLIED MATERIALS, Enviro-Tech, gewartet und gewartet. Enviro-Tech nutzt eine Kombination aus fortschrittlicher routinemäßiger Diagnosewartung und Reparaturen für AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE-Systeme. Diese Services helfen, die höchste Leistung des Tools und die konsistente Prozessleistung zu erhalten. Darüber hinaus bieten die Ingenieure von Enviro-Tech Schulungen für den Einsatz des Systems und die Entwicklung neuer Ablagerungsrezepte mit der AMAT Producer SE an.
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