Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9240191 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Reaktortyp, der für die Herstellung von Halbleiterscheiben in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Sie besteht aus einer thermisierten Quelle, einer Gasfördereinrichtung, einem Elektrodensystem und einer Vakuumkammer, in der Wafer einer Reihe von Gasbehandlungen unterzogen werden können. AMAT Producer SE verwendet eine heiße Filamenteinheit zur chemischen Bedampfung von Siliziumoxid, Polysilizium und verwandten Materialien. Die thermische Oberfläche des Filaments wird auf die erforderliche Temperatur, typischerweise 600 ° C, erwärmt, um die Zersetzung flüchtiger Chemikalien zu ermöglichen. Nach ausreichender Zersetzung der Dämpfe werden sie mit kontrolliertem Druck und Strömungsgeschwindigkeit in die Vakuumkammer eingeleitet und dort auf die Waferoberflächen abgeschieden. Quelle und Elektroden helfen, die Gleichmäßigkeit der kombinierten gasförmigen Umgebung innerhalb der Kammer zu erhalten. Die Elektroden haben zwei Funktionen: Die eine besteht darin, eine negative Gleichspannung aufrechtzuerhalten, die bei der Abscheidung unterstützt, und die andere darin, den richtigen Kammerdruck aufrechtzuerhalten. Die Gasfördermaschine besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem Massenstromregler, einem Gaskrümmer und entweder einem entfernten oder integrierten Ventil. Der Gaskrümmer sammelt und leitet die Gase aus dem Massenstromregler in die Kammer, und das Ventil dient zur Einstellung des Gasdrucks in der Kammer. Schließlich hilft das thermisierte Filamentwerkzeug, die Geschwindigkeit, Stabilität und Gleichmäßigkeit des Abscheidungsprozesses zu erhöhen. Die thermisierten Filamente sollen den thermischen Gradienten des Filaments reduzieren, was zu einer schnelleren und gleichmäßigeren Abscheiderate beiträgt. APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein leistungsstarker Reaktor für die Abscheidung von Siliziumoxid, Polysilizium und verwandten Materialien auf Halbleiterscheiben. Es besteht aus einer thermisierten Quelle, einer Gasförderanlage, einem Elektrodenmodell und einer Vakuumkammer. Die thermisierte Filamentausrüstung hilft dabei, einen gleichmäßigen thermischen Gradienten und Gasdruck innerhalb der Kammer aufrechtzuerhalten, während die Elektroden die notwendige Gleichspannung für einen gleichmäßigen Abscheidungsprozess bereitstellen. All diese Merkmale machen diesen Reaktor in Kombination zu einem effizienten und vielseitigen Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterscheiben.