Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251465 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein automatisierter CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der aufgrund seiner integrierten und fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen einzigartig ist. AMAT Producer SE bietet eine optimale Lösung für die Abscheidung von niedrigen und hohen k-Materialien sowie für die Synthese von Verbundhalbleiterlegierungen wie GaAs und InGaAs. Das Reaktordesign ermöglicht eine zuverlässige und gleichmäßige Abscheidung über eine Vielzahl von Abscheideparametern und bietet eine ultrakompakte Stellfläche für eine enge Integration in Kundenfertigungssysteme. Der Reaktor besteht aus einer Abscheidekammer mit vier getrennten Stromversorgungen für Heizung, Kühlung und Tiegeleingänge und einem rückseitigen Suszeptor. Die Kammer ist ausgelegt, um eine maximale Betriebstemperatur von 1200 ° C zu erreichen und mit einer mechanischen Turbo-Molekularpumpe ein Basisvakuum von bis zu 10-7 mbar aufrechtzuerhalten. Die geregelten gasförmigen Reaktantenströme werden durch ein Gasverteilungssystem aus integrierten Eingangsquellen exakt der Abscheidekammer zugeführt. Der Tiegel besteht aus Wolfram und Molybdän und kann Temperaturen bis zu 2000 ° C erreichen. Der rückseitige Suszeptor besteht aus Graphit und enthält auch eine Heizplatte, um eine ausgewogene Erwärmung des festen Reaktanden zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller SE enthält mehrere einzigartige Merkmale zur Verbesserung der Prozessstabilität, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit. Zum Beispiel umfasst der Hersteller einen temperaturgesteuerten Suszeptor, der Druck und Durchflussraten automatisch anpassen kann, um eine höhere Prozesswindow-Stabilität zu ermöglichen. Der Reaktor enthält auch ein Mehrzonenheizsystem, das jede der vier Kammern isoliert, um Kreuzkontaminationen zwischen Reaktanden zu vermeiden. Dieses Mehrzonensystem ermöglicht auch eine höhere Gleichmäßigkeit des Substrattemperaturprofils beim Abscheiden auf größeren Substraten. Darüber hinaus ist Producer SE mit integrierter Kühlung ausgestattet, um thermische Gradienten entlang des Substrats weiter zu reduzieren. Der Reaktor ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitssystemen wie einem Notfall-Knopf ausgestattet, um den Prozess zu stoppen, Halogenkohlenstoff-basierte Spülung und Sicherheitsventilsysteme, um Bediener und die Umgebung zu schützen. Darüber hinaus ist der Reaktor in der Lage, bis zu acht Rezepte zu speichern, um ein schnelles Zyklus von Abscheideprozessparametern zu ermöglichen. Der integrierte Offline-Controller ermöglicht es, den Reaktor von einem Ort aus fernzusteuern, um manuelle Fehler zu vermeiden und die Rüstzeit zu reduzieren. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ein robuster und zuverlässiger automatisierter CVD-Reaktor, der für eine Vielzahl von Abscheideprozessen eingesetzt werden kann und eine höhere Gleichmäßigkeit und Prozessstabilität ermöglicht. Als solches kann AMAT Producer SE verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien und Legierungen in der Halbleiterindustrie zuverlässig und schnell abzuscheiden.