Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9261409 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Single Ended (SE) Produktionsreaktor zur Abscheidung von Folien aus polykristallinen und amorphen Halbleitermaterialien. Der Reaktor ist so ausgelegt, dass er bei Temperaturen bis 800 ° C eine Materialabscheidungsrate von 1,5 nm bis 5 nm pro Minute liefert. Die SE verwendet eine ferngesteuerte Quellkammer, die eine Elektronenstrahlquelle enthält, um einen hochenergetischen, gleichmäßigen Elektronenstrahl bereitzustellen. Dieser Strahl wird innerhalb der Hauptkammer des Reaktors auf eine Substratoberfläche gerichtet und fokussiert. Die Hauptkammer ist auch mit einer luftgekühlten Auskleidung ausgestattet, um die gewünschte Temperatur zu halten und den Abscheidungsprozess zu unterstützen. Das System ist mit einer digitalen Steuerung ausgestattet, um eine breite Palette von Prozessvariablen zu steuern, einschließlich des Strahlstroms, der Elektronenstrahlablenkung und der Fokussierung sowie der Temperatur und des Drucks innerhalb der Kammern. Die digitale Steuerung ermöglicht es dem Benutzer auch, die Substrattemperatur und den Kammerdruck einzustellen, um eine optimale Abscheiderate für Materialien mit unterschiedlichen Zusammensetzungen zu erreichen. Zusätzlich kann die digitale Steuerung zur präzisen Überwachung und Optimierung von Betriebszeit, Strahlstrom und Kammerdruck für maximale Ausbeute und Abscheiderate eingesetzt werden. Für bestimmte Materialien, die höhere Substrattemperaturen erfordern, kann AMAT Producer SE mit einem zusätzlichen Quarzrohr ausgestattet werden, um eine zusätzliche Heizung zu gewährleisten. Das Quarzrohr kann sowohl für die Substrat- als auch für die Seitenwandheizung verwendet werden und bietet eine gleichmäßigere Substratheizung als passive Seitenwandheizungen. Die Wechselrichter-Stromversorgung innerhalb des Quarzrohres kann verwendet werden, um das aktuelle Profil und die Temperatur für bestimmte Prozessparameter genau einzustellen. Neben manuell gesteuerten Prozessvariablen umfasst die APPLIED MATERIALS Producer SE auch ein automatisiertes System zur Reinigung der Kammer nach jedem Einsatz. Dieses automatisierte System verwendet eine Reihe von Spülzyklen, um sicherzustellen, dass schädliche Abfälle aus der Abscheidekammer entfernt werden und die Substratoberfläche vollständig sauber ist. Dieses Merkmal ist wesentlich für die Erzielung optimaler Folieneigenschaften und Ausbeute. Produzent SE wurde entwickelt, um maximalen Durchsatz und Präzision für die Abscheidung von dünnen Filmen und Polymeren zu bieten. Es ist eine ideale Wahl für Prozessingenieure, die nach einer effizienten und zuverlässigen Lösung für die kleine bis mittlere Produktion suchen. Mit einer einzigen Endkonstruktion kann die SE die höchste Produktionsrate bei minimaler Wartung erreichen. Mit all diesen Funktionen finden Anwender von AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE eine optimale Wahl für ihre Ablagerungsanforderungen.