Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9274481 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9274481
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
CVD System, 12" Process type: LowK (BDII) UV Cure chamber VHP Robot (3) Chambers LDS Unichem 3200 ESR20N Pump Accessories: SMC H2000 Chiller Ozone rack UV Rack with (4) UV Power supplies (2) Abatements (2) FUJIFILM Genstreams Pumps: (2) EST500WN A1503H ADP122 ASTEX AX8403 Ozone generator Apex 3000 Generator MPS2-610V UV Power supply 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist eine Hochleistungs-Abscheideausrüstung, die die Abscheidung von dielektrischen, metallischen und anderen Materialien auf Substraten in einer Vielzahl von Prozessgeometrien ermöglicht. Das System nutzt eine proprietäre Multi-Source-Plattform, um für alle Prozessschritte eine hervorragende Einheitlichkeit, Temperaturgleichmäßigkeit, Ratenanpassung und Wiederholbarkeit zu bieten. Es ist entworfen und vollautomatisiert für den Einsatz in Produktionslinien mit mehreren Prozessen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf physikalische Dampfabscheidung (PVD), Sputterabscheidung und chemische Dampfabscheidung. AMAT Producer SE ermöglicht außergewöhnlich niedrige Substratverschmutzung und Wafer-zu-Wafer Ungleichmäßigkeit bei hoher Durchsatz-, Wiederhol- und Kontrollgenauigkeit. APPLIED MATERIALS Producer SE Plattform besteht aus mehreren Modulen, darunter einem Großrechner, einem Verdampfer, einem Wäscher und einer Stromversorgung. Das Mainframe fungiert als zentrale Steuereinheit für die Plattform und besteht aus einem Computer und einer Software, die die gesamte Maschine steuert. Das Verdampfermodul wird für die Wafer-Oberflächenabscheidung verwendet, die Standard-Industriekomponenten verwendet, um konsistenten Durchsatz und Prozesse zu liefern, während ausgezeichnete Substratgleichförmigkeit erreicht wird. Das Wäschermodul dient zur Abgasreinigung der Prozesskammer zur Aufnahme unterschiedlicher Prozesse. Das Stromversorgungsmodul dient zur Leistungssteuerung des Verdampfermoduls. Das Tool enthält auch mehrere Funktionen, die maximale Prozessflexibilität, Wiederholbarkeit und präzise Steuerung gewährleisten. Die Anlage ist mit einem offenen Baddesign, mehreren Prozessöfen und erweiterten Waferhebefunktionen ausgestattet. Die Multi-Source-Plattform ermöglicht das Abscheiden mehrerer Materialschichten in einem Durchgang, wodurch maximale Abscheideraten erreicht werden. Das Modell bietet auch einstellbare Partikelfilterfähigkeit, die die Gleichmäßigkeit des selbstbegrenzten Abscheidungsprozesses gewährleistet. Darüber hinaus verfügt Producer SE über eine einzigartige Kalibrierfunktion, die eine präzise Kontrolle der Verdampfungsrate, der Gleichmäßigkeit der Dicke und der Abscheidungsqualität ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist äußerst vielseitig einsetzbar und kann optimale Abscheidungsergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen liefern, einschließlich Anzeigetechnologien, Halbleiterverbindungen, magnetische Aufzeichnungsmedien und Dünnschichtanwendungen. Diese Ausrüstung ist sehr zuverlässig, mit ausgezeichneter Fehlertoleranz im gesamten System integriert, und eine breite Palette von Prozessparametern, die auf die genauesten Abscheidungsergebnisse zugeschnitten sind. Dadurch bietet die AMAT Producer SE hervorragende Leistung und Wiederholbarkeit und ist damit ideal für Serienumgebungen in hohen Stückzahlen geeignet.
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