Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9275287 zu verkaufen
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ID: 9275287
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
CVD System, 12"
(3) Twins
Process: HT SiN
OS
FES (CGA)
RPC
NPP
Throttle valve
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein hochmoderner CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition) für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. AMAT Producer SE ist ein einziger Wafer-Produktionsreaktor, der eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) und mehrere thermische Quellen verwendet, um eine Vielzahl von Materialien - einschließlich Oxide, Nitride und Metalle - auf Substraten abzuscheiden. Sein einzigartiges Design kombiniert die Einzelwaferbearbeitung mit Hochtemperatur-CVD für überlegene Gleichmäßigkeit und überlegene Produktivität. ANWENDUNGSMATERIALIEN Der Hersteller SE besteht aus mehreren Hauptkomponenten, darunter einer ICP-Quelle, einem Gasfördersystem, einem Revolver zur Aufnahme mehrerer Substrate und thermischen Quellen. Die ICP-Quelle ist eine induktiv gekoppelte Hochfrequenzspule, mit der Gase in der Reaktionskammer ionisiert werden, wodurch sie reagieren und Materialien auf den Substraten abscheiden. Das Gasfördersystem liefert die zur Durchführung der Abscheidungsreaktion erforderlichen Gase und der Revolver hält die Substrate, die das abgeschiedene Material aufnehmen. Schließlich liefern die thermischen Quellen die Energie, die benötigt wird, um die Abscheidungsreaktion einzuleiten und zu beschleunigen. Produzent SE ist so konzipiert, dass es sehr vielseitig ist, da es für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen verwendet werden kann, einschließlich thermisch stabiler Dünnfilmabscheidung, Nanopartikelabscheidung und optischer Dünnfilmabscheidung. Es ist in drei Modellen - SE 75, SE 100 und SE 150 - erhältlich, um verschiedenen Wafergrößen und Prozessanforderungen gerecht zu werden. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist energieeffizient und umweltfreundlich, da es den Bedarf an zusätzlichen Prozessgasen und Energie reduziert und gleichzeitig die Prozessstabilität und -ausbeute verbessert. Darüber hinaus wurde AMAT Producer SE entworfen, um die Sicherheit des Bedieners zu maximieren, da es viele Sicherheitsmerkmale aufweist, darunter einen kontrollierten Gasfluss, einen Zustrom von Prozesskammerschutzgas, einen abgedichteten Substratspeicherbereich und ein Not-Aus-Merkmal. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Producer SE ein leistungsstarker und vielseitiger CVD-Reaktor, der für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Sein innovatives Design ermöglicht eine einfache Waferbearbeitung mit verbesserter Gleichmäßigkeit und Produktivität und ist somit eine ideale Wahl für die Hochleistungsproduktion fortschrittlicher Materialien.
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