Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9280551 zu verkaufen
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ID: 9280551
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
CVD System, 12"
Process: NBLOK
(3) Chambers
(6) RF Generators
FOUP Interface
(2) KAWASAKI FI Robots
VHP Buffer robot
A-Box
SMC Heat exchanger
Missing / Faulty parts:
(2) FI Robot blades
Delta Tau CPU Board
(2) LL Heater lift drivers
SECS, GEM
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT) ist ein Hochdurchsatz-Reaktor zur chemischen Dampfabscheidung (CVD), der für die präzise konforme Abscheidung dünner Filme auf verschiedenen Substraten verwendet wird. Der Reaktor eignet sich gut zur Herstellung von Dünnschichten mit hohen optischen, elektrischen oder thermischen Eigenschaften, die häufig bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, Dünnschichtbatterien, Displays und anderen Bauelementen verwendet werden. AMAT Producer SE nutzt eine fortschrittliche Puls-Silizium-gesteuerte Gleichrichter- (SCR) Stromversorgung, um präzise und wiederholbare Pulsformen zu erzeugen, die eine präzise Steuerung des Plasmas und der Dampfchemie während des CVD-Prozesses ermöglichen. Mit seinem integrierten Gasmischsystem kann eine Mischung von Reaktantgasen mit hoher Präzision im Abscheidungsprozess eingesetzt werden. Darüber hinaus ermöglicht eine Zweizonen-Temperaturregelung die Einstellung unterschiedlicher Temperaturen für das Substrat und seine Umgebung. Die anpassbare Prozesskammer von APPLIED MATERIALS Producer SE hat ein Volumen von weniger als 2.000 Kubikzentimetern, so dass sie Substrate von bis zu 10 Zoll Größe unterstützen kann. Die Kammer hat einen Arbeitsdruckbereich von 25-50 Millitorr und soll die Wirkung von Streugas begrenzen und hohe Vakuumwerte gewährleisten. Darüber hinaus sorgt die transversale Flußauslegung der Prozesskammer für eine optimale Gleichmäßigkeit der Abscheidung und verbessert die Produktivität und Ausbeute des Verfahrens. Die fortschrittlichen Eigenschaften von Producer SE ermöglichen die Herstellung einer Vielzahl von Folien, von niederohmigen Kupferfolien bis hin zu halbtransparenten leitfähigen Aluminiumoxiden. Es kann bis zu vier Schichten von Materialien mit einzigartigen Zusammensetzungen und Kristallstrukturen. Die wiederholbaren Prozessparameter des Systems garantieren reproduzierbare Hochleistungs-Dünnschichten mit gleichbleibender Qualität. Die Flexibilität und Präzision des Verfahrens in Verbindung mit der Skalierbarkeit des AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reaktors machen ihn zu einem idealen Werkzeug für Hersteller in der Halbleiter- und Elektronikindustrie. Dank seiner beispiellosen Verarbeitungsfähigkeiten können Hochleistungskomponenten mit branchenführenden Erträgen und Kosteneffizienz hergestellt werden.
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