Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9281300 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9281300
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
CVD System, 12"
(3) Chambers
2006 vintage.
AMAT / Erzeuger von APPLIED MATERIALS SE Reaktor ist reaktives für die Halbleiterherstellung spezifisch entworfenes Singleoblatengastraubenionsquellion etcher (RIE). Diese Ausrüstung integriert die führenden Plasmaerzeugungs- und Steuerungstechnologien des Unternehmens, die auf einem hyperfeld-induzierten ungehinderten Plasmastrom, hohen Ionendichten und einer einheitlichen Plasmaenergieverteilung zur Verbesserung der Prozesse basieren. Die niederohmige magnetisch unterstützte Ionisierungstechnologie (MAI) ermöglicht eine erhöhte Prozessflexibilität und verbesserte Leistung. Das System verfügt zudem über eine hervorragende Produktivität durch die wechselstrominduktiv gekoppelte Quelle. Mit seiner hochentwickelten PC-basierten Geräteschnittstelle kombiniert AMAT Producer SE vollautomatische Gerätesteuerung und mehrere Benutzerfunktionen. Es verfügt über erweiterte Prozessoptimierungsfunktionen, die Zeit und Ressourcen für die Einrichtung von Rezepten und betriebliche Verbesserungen erheblich reduzieren. Dies wird durch anspruchsvolle Softwareanwendungen ermöglicht, die Parameter wie Gasdurchflussverhältnisse, Druck, Temperatur und Timing steuern. Das FEOL (Front End of Line) Batch-Implantat und Ätzprozessmerkmale machen es sehr einfach zu bedienen und können auf verschiedene chemische Dampfabscheidung, Ionenimplantation und Post-Implantat-Ätzanwendungen angewendet werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller SE ist mit einer leistungsstarken, unabhängigen belasteten kristallinen Ionenpistole ausgestattet, die hohe Ionendichten liefert. Die patentierte eng gekoppelte Hochgeschwindigkeits-Gasfördereinheit der SE liefert präzise Gasverhältnisse für eine hochpräzise Prozesssteuerung. Seine einzigartige Dual-Mode-Implantation beschleunigt den Prozess, indem Ätz- und Implantationssequenzen gleichzeitig auftreten können. Durch die schnelle Reaktionszeit der RIE-Gasimpulsmaschine, die die Plasmabedingungen automatisch auf maximalen Wirkungsgrad einstellt, wird die Produktivität weiter verbessert. Das Dual und Split Mode Substrat Handling Tool der Producer SE bietet beispiellose Flexibilität mit der Möglichkeit, verschiedene Kammerkonfigurationen auszuwählen. Das Asset verfügt auch über erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen mit ProPlasma, das Echtzeitdaten zu Plasmaeigenschaften, Ätzprozessleistung und Atomartenzusammensetzung liefert. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein zuverlässiges und bewährtes Werkzeug, das auf die Bedürfnisse der Halbleiterhersteller bei der Erzielung einer effizienten, qualitativ hochwertigen und kosteneffizienten Produktion zugeschnitten ist. Mit seinen erweiterten Funktionen und Steuerungsfunktionen bietet die SE eine kostengünstige Lösung für die heutigen komplexen Anforderungen an die Geräteherstellung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor