Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9294355 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist eine hochmoderne epitaktische Abscheidung für Halbleiterforscher, Hersteller und akademische Anwender. Es bietet eine breite Palette von Abscheide- und Ätzprozessen in Kombination mit präzisen Kontroll- und In-situ-Überwachungsfunktionen. Das System ist mit einer epitaktischen chemischen Aufdampfkammer (E-CVD) und einer dielektrischen Ätzkammer ausgestattet. AMAT Producer SE kann verschiedene III-V-Materialien wie GaAs und InP sowie SiO2 und Si3N4 hinterlegen. Der Abscheidungsprozess wird durch hocheffiziente Heizgeräte unterstützt, die eine minimale thermische Verzerrung während des Wachstums ermöglichen, um hochwertigere Epilierer zu erzielen. Die Kammer ist für eine gleichmäßige Abscheidung über große Flächen (bis zu 4-Zoll-Waferdurchmesser) ausgelegt. ANWENDUNGSMATERIALIEN Der Hersteller SE ist mit einer fortschrittlichen Epi-Monitor-Einheit zur In-situ-Charakterisierung von Schichten während des Abscheidungsprozesses ausgestattet. Diese Maschine umfasst mehrere orthogonale in-situ Mikrospektroskopie Techniken wie Laser Induced Current Voltage (LIV oder IV), Ion Channeling, Photolumineszenz (PL) und Atomic Force Microscopy (AFM). Dies ermöglicht eine Echtzeitsteuerung des epitaktischen Wachstumsprozesses, wodurch Schichtqualität und Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat optimiert werden können. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer ferngesteuerten dielektrischen Ätzkammer mit einer Vielzahl kompatibler Ätzgase ausgestattet. Diese Kammer ist mit direkten Plasmaquellen ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Prozessgasflusses, der Ätzleistung und der Substrattemperatur ermöglichen. Dies ermöglicht ein präzises Ätzen verschiedener dielektrischer Materialien wie Oxynitrid, SiO2 und Si3N4 für Anwendungen mit hohem Seitenverhältnis. Producer SE ist eine einfach zu bedienende und sehr zuverlässige Anlage, die eine hervorragende Prozesskontrolle und Schichtcharakterisierung bietet. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist mit seinen hochpräzisen Ätz- und Abscheidefähigkeiten in Kombination mit In-situ-Überwachungsfunktionen ein ideales Werkzeug für Forscher und Hersteller, die hochwertige Epitaxieschichten in großem Maßstab herstellen müssen.