Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9311351 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9311351
Weinlese: 2007
CVD System 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein fortschrittlicher Technologie-Wafer-Fertigungsreaktor, der überlegene Leistung und Flexibilität für eine breite Palette von Anwendungen bietet. Dieser vielseitige Waferätzreaktor verfügt über eine große Bearbeitungsfläche mit fortschrittlichem Kammerdesign für optimale Plasmagleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. AMAT Producer SE verfügt über die neueste Automatisierungs- und Prozesssteuerungstechnik, die eine präzise Prozesssteuerung und -überwachung ermöglicht. APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein Dual-Wafer-Plattformsystem, das für einen effizienten Durchsatz entwickelt wurde. Es ist mit zwei großen, vertikal montierten Kühlköpfen ausgestattet, die in der Steigung von -15 bis + 15 Grad verstellbar sind. Der zunehmende Spülgasstrom ermöglicht auch eine schnelle Abkühlung und Freigabe der Wafer aus dem Futter. Produzent SE wurde entwickelt, um ein einheitliches, wiederholbares Plasma im Bearbeitungsbereich bereitzustellen, Hotspots zu beseitigen und Ätzraten zu beschleunigen. Das Herzstück von AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist seine fortschrittliche Technologie robuste Stromversorgung. Diese Stromversorgung ermöglicht eine enge Steuerung und verbesserte Leistung des reaktiven Ionenätzplasmas. AMAT Producer SE verfügt über einen Hochfrequenz-HF-Generator, der auf einer Orbitalfrequenz von 13,56 MHz läuft und einen einstellbaren HF-Frequenzausgang von 0 bis 400 kHz hat. Dies sorgt für ein sauberes, stabiles Hintergrundplasma mit einstellbarem Leistungsverhältnis für optimierte Ätzraten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der Hersteller SE ist so konzipiert, dass er hervorragende Flexibilität und Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit für die Ätzverarbeitung bietet. Sein ergonomisches Design beinhaltet eine patentierte RF-Matching-Schaltung für gleichbleibende HF-Leistung über eine breite Palette von Lasten und einen doppelt verschraubten Magnetkrümmer, der hilft, eine isotrope Plasmaform zu schaffen. Darüber hinaus bietet das geschlossene Kühlsystem mit Inertgas eine hervorragende Wiederholbarkeit und ermöglicht wiederholbare Ätzraten über verschiedene Prozessläufe hinweg. Zusammenfassend ist Producer SE ein robuster, vielseitiger und kostengünstiger Wafer-Fertigungsreaktor. Seine große Bearbeitungsfläche, einstellbare Pitch-Kühlköpfe, robuste Stromversorgung und HF-Generator und fortschrittliche magnetische Verteiler- und HF-Anpassungsschaltung sorgen für hervorragende Leistung und überlegene Wiederholbarkeit und Kontrolle für eine breite Palette von Anwendungen.
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