Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9315106 zu verkaufen

Der AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (Spin-on Epi) Reaktor ist ein hochmodernes Epi-Abscheidungssystem, mit dem dünne Filme sowohl in industriellen als auch in Forschungsanwendungen abgelagert werden. AMAT Producer SE verfügt über ein revolutionäres neues Design, das die Vorteile leicht erweiterbarer Module nutzt. Auf diese Weise kann der Abscheideprozess mit maximaler Flexibilität, Qualität und Wirtschaftlichkeit individuell angepasst werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller SE unterstützt die direkte Wafer-zu-Wafer-Herstellung, die eine direkte Übertragung von Substraten zwischen Verarbeitungskammern ermöglicht, ohne in eine Reinraumumgebung einzutreten. Der Reaktor kann an bestehende vor- und nachgelagerte Prozesse angeschlossen werden, wodurch eine vollständig integrierte Dünnschichtabscheidungslösung bereitgestellt wird. Die Reaktorkammer ist aus Edelstahl gefertigt und für die Abscheidung von bis zu zwei Wafern gleichzeitig ausgelegt. Es ist bis zu 5 × 10-7 Torr vakuumdicht und nutzt entweder Zwei-Zonen- oder Drei-Zonen-Substratheizung. Die Zwei-Zonen-Option unterstützt den Einzelkassettentransport, während die Drei-Zonen-Option den bidirektionalen Kassetten-zu-Kassetten-Transport für zwei Kassetten gleichzeitig unterstützt. Kern der Producer SE ist das Abscheidungsquellenmodul, das für die universelle Aufnahme aller Arten von Abscheidematerialien konzipiert ist. Das softwaregesteuerte Quellmodul unterstützt eine Vielzahl von Prozessabläufen, von einfachen ALD (Atomic Layer Deposition) bis hin zu komplexen, zeitlich sequenzierten mehrstufigen Prozessen. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE verfügt auch über ein ausgezeichnetes In-situ-Überwachungs- und Kontrollsystem, das es Endanwendern ermöglicht, die tatsächliche Echtzeit-Ablaufsteuerung sowie Alarmfunktionen für den Notfall zu überprüfen. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine fortschrittliche, aber benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, mit der auf Standardrezepte für verschiedene Dünnschichtanwendungen zugegriffen wird. Mit dieser Funktion kann der eigentliche Abscheidevorgang von einer entfernten Workstation aus überwacht und gesteuert werden. Neben der Unterstützung benutzerdefinierter Rezepte bietet AMAT Producer SE über 400 vordefinierte, gerätespezifische Rezepte für beliebte Anwendungen, darunter SiN, SiC, SiOx, Nitrid, Dielektrika und eine Vielzahl weiterer Filme. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Producer SE ein erstklassiger, kostengünstiger Reaktor, der den Bedürfnissen kleiner und großer Unternehmen gerecht wird. Es ist einfach zu bedienen, bietet eine überlegene Dünnschichtabscheidungsleistung und hat die Flexibilität, auf verschiedene Anwendungsanforderungen zugeschnitten zu sein. Darüber hinaus ermöglicht das Echtzeit-Überwachungs- und Steuerungssystem eine schnelle Prozessoptimierung und Qualitätssicherung und ist somit eine ideale Wahl für Forschungs- und Industrieanwendungen.