Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9354650 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9354650
Wafergröße: 12"
SACVD System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist eine Art Halbleiterreaktor, der speziell für Aufträge entwickelt wurde, die hohen Durchsatz, hohe Produktionsausbeute und geringe Prozessvariabilität erfordern. Es handelt sich um einen SWCD-Reaktor (Single Wafer Centrifugal Deposition), der speziell entwickelt wurde, um eine hohe Abscheidungsselektivität, eine einheitliche Schichtzusammensetzung und eine außergewöhnliche Prozesswiederholbarkeit bereitzustellen. AMAT Producer SE integriert eine produktionsstarke, richtungsweisende Sputteranlage und ein Endpunktdetektorsystem, um eine hohe Abscheidungsselektivität und eine gleichmäßige Schichtzusammensetzung zu gewährleisten. Die richtungsweisende Zerstäubungseinheit erzeugt eine gleichmäßige Dünnschicht, indem sowohl eine negative als auch eine positive elektrische Ladung auf der Zieloberfläche erzeugt wird. Dies gewährleistet eine gleichmäßigere Schichtabscheidung gegenüber herkömmlichen Sputtersystemen. Die Endpunkterkennungsmaschine ermöglicht eine zusätzliche Prozesssteuerung sowie eine automatisierte Abschaltung an definierten Endpunkten. Die in APPLIED MATERIALS Producer SE Abscheidungsreaktor verwendete Technologie der Zentrifugalabscheidung (CD) ist ein hoher Durchsatz, hohe Produktion, niedrige Prozessvariabilität Technologie, die Dünnschichtabscheidungszeit im Vergleich zu herkömmlichen Sputtern reduziert. Dies wird erreicht, indem der Wafer unter Abscheidung des Dünnfilms mit hoher Winkelgeschwindigkeit gespinnt wird, wodurch die Abscheidungsgleichmäßigkeit maximiert wird. Der Produzenten-SE-Reaktor verfügt über eine fortschrittliche Werkzeugarchitektur für eine verbesserte Prozessautomatisierung, wodurch die Prozesszykluszeit reduziert wird. Darüber hinaus verfügt der AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE über variable Frequenzantriebe, die eine präzise Steuerung aller wichtigen Betriebsparameter, einschließlich Temperatur, Druck, HF-Leistung und Durchflussrate, bieten. Der Reaktor verfügt auch über robuste Materialzufuhrsysteme, die präzise und stabile Durchflüsse ermöglichen und hohe Abscheideraten bei gleichzeitiger Minimierung der potentiellen Variabilität ergeben. Zusammenfassend ist AMAT Producer SE ein Zentrifugalabscheidungsreaktor mit fortschrittlicher Technologie, die auf hohe Abscheidungsselektivität und Prozesswiederholbarkeit ausgelegt ist. Diese Technologie sorgt in Kombination mit ihren robusten Liefersystemen für höchste Produktionsausbeute, Ertragsgleichmäßigkeit und verkürzte Prozesszykluszeiten.
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