Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390849 zu verkaufen
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ID: 9390849
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
PECVD System, 12"
Process: APF
Load port type:
Enhanced 25
Wafer FOUP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 208 AC, 3 Phase
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist ein ultrahocher, turbomolekulargepumpter Mehrkammerreaktor, der für die Verarbeitung von Halbleiterchips verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine breite Palette von Wafergrößen von 3 Zoll bis 8 Zoll zu verarbeiten und bietet eine extrem hohe Prozesskontrolle, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. AMAT Producer SE ist in der Lage, bis zu 200 Wafer pro Stunde zu verarbeiten, was es zu einer idealen Wahl für eine hohe Serienproduktion macht. APPLIED MATERIALS Producer SE verfügt über eine fortschrittliche Plasmabearbeitungskammer, die mit mehreren HF-Quellen für induktiv gekoppelte Plasma- (ICP) und kapazitiv gekoppelte Plasma- (CCP) Prozesse konfiguriert ist. Darüber hinaus verfügt es über einen hochempfindlichen Kammerdruckwächter sowie digitale Druckregler und Ventile zur präzisen Prozesssteuerung. Die hohe Leistungsdichte der HF-Quellen in Producer SE ermöglicht eine höhere Prozessflexibilität und Kontrolle. Darüber hinaus werden die ICP- und CCP-Prozesse mit einem einzigen HF-Generator betrieben, was den Bedarf an mehreren Generatoren reduziert und das System kostengünstiger macht. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE ist auch mit einer Vakuum-Diffusionspumpe ausgestattet, die schnellere Abpumpzeiten und verbesserte Vakuumleistung bietet. Das System verfügt auch über eine Prozessheizung, um eine genaue Temperaturregelung für empfindliche Prozesse zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die AMAT Producer SE über mehrere Funktionen zur Verbesserung der Sicherheit, darunter ein Dewar, eine automatische Druckschalter-Verriegelung und eine Kammerschutzvorrichtung. Zur Prozessüberwachung bietet die APPLIED MATERIALS Producer SE auch eine umfangreiche Palette von Werkzeugen und Sensoren wie Massenfragmentierungsmonitoren, molekulare Detektionssysteme und optische Emissionsdetektoren an. Aus diesen Werkzeugen gewonnene Daten können zur Optimierung des Prozesses und zur Steigerung des Ertrags verwendet werden. Darüber hinaus umfasst die Producer SE eine Reihe von Diagnosewerkzeugen und Zubehör wie Massenspektrometer, Prozessmonitore, Spektroskopiesysteme und Lecksucher. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE bietet auch eine Reihe von erweiterten Softwarepaketen an, um seinen Betrieb zu unterstützen. Die Software bietet eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und ermöglicht es dem Benutzer, die Leistung verschiedener Prozessschritte einzurichten und zu überwachen. Insgesamt ist AMAT Producer SE eine fortschrittliche, hochleistungsfähige, Mehrkammer-Verarbeitungsplattform, die für eine hohe Serienproduktion entwickelt wurde. Mit seinen erweiterten Funktionen und dem umfassenden Softwarepaket bietet die APPLIED MATERIALS Producer SE ein beispielloses Leistungsniveau und Kosteneffizienz.
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