Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390853 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor ist ein hocheffizienter Reaktor, der für die kleinere Produktion von elektrochemischen Einzelwaferabscheidungsprozessen von Metallen, Legierungen und anderen Materialien entwickelt wurde. Das Gerät verfügt über eine leistungsstarke Stromversorgung für eine präzise, wiederholbare Prozesssteuerung und eine zuverlässige, langlebige Plattform, um eine ununterbrochene Betriebszeit zu gewährleisten. Das System umfasst eine lastgesperrte, ionenstrahlinduzierte Abscheidungsquelle, die eine gleichmäßige Quellmaterialverteilung über das Substrat ermöglicht. Der einstellbare Kammerdruck ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter während der gesamten Abscheidung. Die Hochvakuumbedingungen ermöglichen auch den effizienten Einsatz kostengünstiger Materialvorräte wie Metall- und Metallhalogenidquellen. Der Kern der Einheit ist eine Einzelplattenkammer, die für eine Vielzahl von Substratprozessen konfiguriert werden kann, einschließlich linearer Sweep- und Rampenabscheidung, schrittweiser Abscheidung und zeitabhängiger Prozesse. Vielseitige Optionen ermöglichen eine automatisierte Steuerung des gesamten Prozesses, vom Ionenstrahl über den Abscheidepunkt bis hin zum Substrat von Temperatur und Potentialen. Die Kammer verfügt auch über vollständig einstellbare Substratdrehung und eine Auswahl an Isolations- oder Kühlmöglichkeiten. Der Reaktor ist mit einer integrierten, halbgeschlossenen Prozesskontroll- und Qualitätssicherungsmaschine (PCQA) ausgestattet, die konsistente, wiederholbare Ergebnisse gewährleistet. Das Tool verfügt über mehrere Sensoren zur Überwachung und Steuerung von Prozessparametern in Echtzeit und bietet erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen. Das Asset kann auch mit einem Echtzeit-Überwachungsmodell integriert werden, um Rückmeldungen zu vertieften Partikeln, Filmdicke, Zusammensetzung und Oberflächendefektanalyse zu liefern. Die Geräte können skaliert werden, um eine breite Palette von Produktionszielen aufzunehmen, die von heutigen Einplatten-Wafern bis hin zu fortschrittlichen Plattensubstraten und darüber hinaus reichen. Diese Modularität ermöglicht einen skalierbaren Betrieb, der Produktionserträge, Kosteneffizienz und eine Steigerung der Qualitätssicherung insgesamt optimiert. Der komplette Prozess ist auch für die Sicherheit unter Einbeziehung eines Gasdetektionssystems und fortschrittlicher Steuerungstechnologie zur Steuerung von Plasma- und Flashover-Ereignissen optimiert. Zusätzlich gibt eine automatisierte Kalibriereinheit konstante Rückkopplung auf Prozessparameter, um die engste Prozesssteuerung zu gewährleisten. AMAT Producer SE Reactor ist eine innovative Prozesskontroll- und Abscheidemaschine für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen. Das Tool vereint herausragende Flexibilität, hohen Durchsatz und verbesserte Prozesskonsistenz und ist damit eine ideale Lösung für die heutigen anspruchsvollen Produktionsumgebungen.