Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #135489 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 135489
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
CVD system, 8"
Process: HT NIT
Wafer shape: JMF
Wafer size: 8"
Producer type: long mainframe
SMIF: manual
System placement: through the wall
Chambers:
Chamber A: HT NIT
Chamber B: HT NIT
Chamber A:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Chamber B:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Beat exchanger: Steelhead 0
HF generators:
Chamber A: V-(RFG2000-2V)
Chamber B: V-(RFG2000-2V)
LF generators:
Chamber A: V-(DPG-10)
Chamber B: V-(DPG-10)
Mainframe:
Type: Producer long
SMIF: manual
Electrical requirements:
Line frequency: 50 / 60 Hz
Line voltage: 200 / 208V
Line amperage: 400A
System monitor: 1st and 2nd monitors
System placement: through-the-wall
Gas delivery:
MFC type: STEC 4400MC
Valves: FUJIKIN 5 Ra Max
Filters: MOTT
Transducer: MKS without display
Regulators: VERIFLO
Chamber A gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Chamber B gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Can be inspected
1999 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der zur Abscheidung von Dünnfilmbeschichtungen entwickelt wurde, um die Leistung und Haltbarkeit des Substrats zu verbessern. Dieser CVD-Reaktor ist mit einer innovativen vertikalen Balg-Elektrode ausgestattet, die eine präzise und konsistente Abscheidung von Dünnschichtbeschichtungen auf verschiedensten Substraten ermöglicht, von Halbleitermaterialien bis zu Metallen. Die vertikale Elektrodenanordnung bietet auch eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Abscheidung, was zu einer größeren Kontrolle der Schichtdicke und höheren Ausbeuten führt. AMAT Producer ist mit einer 2-Meter-Twin-Kammer ausgestattet, die die doppelseitige Waferproduktion erleichtert und bis zu vier Wafer unterschiedlicher Dicke gleichzeitig verarbeiten kann. Diese CVD-Reaktionskammer verwendet auch eine schnelle thermische Vertiefungseinrichtung, ein neues PVD-Verfahren, das atomare Schichtabscheidung (ALD) oder MIPT-ALD-Beschichtungen in einem Bruchteil der Zeit anderer herkömmlicher Dünnschichtherstellungsverfahren erzeugt. Angewandte Materialien Angewandte Materialien Produzent bietet Vielseitigkeit und Flexibilität, so dass Benutzer verschiedene Substrate mit einer breiten Palette von Foliendicke zu verarbeiten. Es ermöglicht auch mehrfache Nachbeschichtungen von Einzelwafern und Waferstapeln für optimalen Durchsatz. Sein effizientes Wafer-Positioniersystem gepaart mit Multi-Gas-Mischfähigkeit erhöht die Abscheidungsgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit weiter. Darüber hinaus gewährleistet die CVD-Reaktionskammer wiederholbare Prozessergebnisse ohne Umrüstung durch gleichmäßige Temperaturverteilung, Druckregelung und überlegene Up-Time-Zuverlässigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Anwender den Abscheideprozess und den Einheitenstatus in Echtzeit überwachen können. Dieser CVD-Reaktor verfügt auch über eine intuitive Fernbedienung, mit der Benutzer die Bedienung des Werkzeugs von einem entfernten Standort aus überwachen und steuern können. Darüber hinaus sind Diagnosetools enthalten, um Prozess- und Asset-Kompatibilität zu gewährleisten, während eingebaute Sicherheitsfunktionen die Betriebsintegrität des Modells bei unerwarteten Bedingungen schützen. Zusammenfassend ist AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer CVD reactor eine fortschrittliche, hochmotorisierte chemische Abscheidung Ausrüstung entwickelt, um verbesserte Substratleistung und Haltbarkeit zu liefern. Dieser CVD-Reaktor ist mit robuster Technologie und intuitiver Steuerung ausgestattet, was ihn zu einer zuverlässigen und effizienten Lösung für die Substratabscheidung macht. Mit seinem vielseitigen und flexiblen Design, der überlegenen Up-Time-Zuverlässigkeit und der anspruchsvollen GUI bietet AMAT Producer Anwendern die Flexibilität, auf einem dynamischen Marktplatz zu gedeihen.
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