Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #135489 zu verkaufen

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ID: 135489
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
CVD system, 8" Process: HT NIT Wafer shape: JMF Wafer size: 8" Producer type: long mainframe SMIF: manual System placement: through the wall Chambers: Chamber A: HT NIT Chamber B: HT NIT Chamber A: Heater: ceramic Clean method: remote plasma Frequency: dual HF and LF Manometer: dual 10 / 100 Torr Chamber B: Heater: ceramic Clean method: remote plasma Frequency: dual HF and LF Manometer: dual 10 / 100 Torr Beat exchanger: Steelhead 0 HF generators: Chamber A: V-(RFG2000-2V) Chamber B: V-(RFG2000-2V) LF generators: Chamber A: V-(DPG-10) Chamber B: V-(DPG-10) Mainframe: Type: Producer long SMIF: manual Electrical requirements: Line frequency: 50 / 60 Hz Line voltage: 200 / 208V Line amperage: 400A System monitor: 1st and 2nd monitors System placement: through-the-wall Gas delivery: MFC type: STEC 4400MC Valves: FUJIKIN 5 Ra Max Filters: MOTT Transducer: MKS without display Regulators: VERIFLO Chamber A gases: N2O, 500 sccm N20, 5 slm NH3, 300 sccm N2, 10 slm SiH4, 500 sccm SiH4, 1 slm Ar, 5 slm NF3, 3 slm Chamber B gases: N2O, 500 sccm N20, 5 slm NH3, 300 sccm N2, 10 slm SiH4, 500 sccm SiH4, 1 slm Ar, 5 slm NF3, 3 slm Can be inspected 1999 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der zur Abscheidung von Dünnfilmbeschichtungen entwickelt wurde, um die Leistung und Haltbarkeit des Substrats zu verbessern. Dieser CVD-Reaktor ist mit einer innovativen vertikalen Balg-Elektrode ausgestattet, die eine präzise und konsistente Abscheidung von Dünnschichtbeschichtungen auf verschiedensten Substraten ermöglicht, von Halbleitermaterialien bis zu Metallen. Die vertikale Elektrodenanordnung bietet auch eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Abscheidung, was zu einer größeren Kontrolle der Schichtdicke und höheren Ausbeuten führt. AMAT Producer ist mit einer 2-Meter-Twin-Kammer ausgestattet, die die doppelseitige Waferproduktion erleichtert und bis zu vier Wafer unterschiedlicher Dicke gleichzeitig verarbeiten kann. Diese CVD-Reaktionskammer verwendet auch eine schnelle thermische Vertiefungseinrichtung, ein neues PVD-Verfahren, das atomare Schichtabscheidung (ALD) oder MIPT-ALD-Beschichtungen in einem Bruchteil der Zeit anderer herkömmlicher Dünnschichtherstellungsverfahren erzeugt. Angewandte Materialien Angewandte Materialien Produzent bietet Vielseitigkeit und Flexibilität, so dass Benutzer verschiedene Substrate mit einer breiten Palette von Foliendicke zu verarbeiten. Es ermöglicht auch mehrfache Nachbeschichtungen von Einzelwafern und Waferstapeln für optimalen Durchsatz. Sein effizientes Wafer-Positioniersystem gepaart mit Multi-Gas-Mischfähigkeit erhöht die Abscheidungsgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit weiter. Darüber hinaus gewährleistet die CVD-Reaktionskammer wiederholbare Prozessergebnisse ohne Umrüstung durch gleichmäßige Temperaturverteilung, Druckregelung und überlegene Up-Time-Zuverlässigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Anwender den Abscheideprozess und den Einheitenstatus in Echtzeit überwachen können. Dieser CVD-Reaktor verfügt auch über eine intuitive Fernbedienung, mit der Benutzer die Bedienung des Werkzeugs von einem entfernten Standort aus überwachen und steuern können. Darüber hinaus sind Diagnosetools enthalten, um Prozess- und Asset-Kompatibilität zu gewährleisten, während eingebaute Sicherheitsfunktionen die Betriebsintegrität des Modells bei unerwarteten Bedingungen schützen. Zusammenfassend ist AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer CVD reactor eine fortschrittliche, hochmotorisierte chemische Abscheidung Ausrüstung entwickelt, um verbesserte Substratleistung und Haltbarkeit zu liefern. Dieser CVD-Reaktor ist mit robuster Technologie und intuitiver Steuerung ausgestattet, was ihn zu einer zuverlässigen und effizienten Lösung für die Substratabscheidung macht. Mit seinem vielseitigen und flexiblen Design, der überlegenen Up-Time-Zuverlässigkeit und der anspruchsvollen GUI bietet AMAT Producer Anwendern die Flexibilität, auf einem dynamischen Marktplatz zu gedeihen.
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