Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293603980 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer (manchmal auch als AMP bezeichnet) ist eine fortschrittliche, multiprozessuale Kammer zur Herstellung von Dünnschichtbeschichtung und Abscheidung von Dünnschichtmaterialien. Das AMP ist in der Lage, viele verschiedene Arten von Abscheidungsprozessen wie Sputterabscheidung, chemische Dampfabscheidung (CVD) und Atomic Layer Deposition (ALD) in einer einzigen Ausrüstung durchzuführen. Die AMP-Verfahren werden entwickelt, um den wachsenden Anforderungen der Industrie an fortschrittliche Dünnschichtmaterialien und -beschichtungen gerecht zu werden. Die AMP-Kammer ist aus korrosionsbeständigen Materialien aufgebaut und weist drei Prozesszonen auf, die jeweils mit einem Hauptprozesshohlraum ausgestattet sind. Zur optimalen Steuerung der Prozessumgebung und zur Sicherstellung der Wiederholbarkeit von Dünnschichtbeschichtungen werden die Hauptprozesskavitäten versiegelt. Jede Prozesszone ist auch mit eigenen spezialisierten Komponenten wie Substratheizung, Transportmechanismus und ferngesteuertem Hubarm ausgestattet. Die AMP-Kammer verfügt über ein vollautomatisches Be- und Entladesystem, das in der Lage ist, mehrere Substrate gleichzeitig zu handhaben und gleichzeitig eine saubere und kontaminationsfreie Umgebung zu erhalten. Das AMP kann auch mit einer Vielzahl von Prozesswerkzeugen ausgestattet werden, um verschiedene Abscheidungstechniken wie Magnetronsputtern, Ionenstrahlabscheidung, CVD und elektrolytische Abscheidung zu erleichtern. Jede dieser Abscheidungstechniken bietet eine Reihe von Vorteilen, einschließlich erhöhter Kontrolle über die Qualität und Gleichmäßigkeit von Dünnschichtbeschichtungen, schnellere Fertigungszeiten und verbesserte Energieeffizienz. Neben den Prozesswerkzeugen enthält die AMP-Kammer auch verschiedene Steuerungen, Zuleitungen und Durchflussregler zur optimalen Prozesssteuerung. Die Kammer ist auch mit einer Gaseinheit ausgestattet, um den Gasdruck und die Zusammensetzung innerhalb der Kammer genau zu steuern. Die Gasmaschine hilft auch, thermische oder Plasmaschäden während der Abscheidungsoperationen zu reduzieren. Schließlich verfügt das AMP auch über ein ausgeklügeltes Überwachungswerkzeug, das detaillierte Prozessdaten bereitstellen kann, einschließlich Prozesszeit und Filmdicken. Diese Daten können zur Einstellung des Abscheideprozesses verwendet werden, um die Qualität von Dünnschichtmaterialien und Beschichtungen zu optimieren. Das AMP ist eine fortschrittliche Fertigungsanlage, die Industriestandards für Präzision und Genauigkeit erfüllen kann.
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