Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293824606 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer ist ein industrieller Vakuumabscheidungsreaktor, der speziell für die Dünnschichtabscheidung und Prozessintegration entwickelt wurde. Dieser Reaktor ist mit einer Vielzahl von Dünnschichtabscheidungstechnologien und Fähigkeiten wie physikalischer Aufdampfung, Sputterabscheidung, chemischer Aufdampfung und Atomschichtabscheidung verbunden. Es verfügt über mehrere Funktionen, wie mehrere Quellkörbe, ein In-situ-Pyrometer und einen Mehrpunkt-End-of-Run (EOR) -Plasma-Monitor. Es ist auch in der Lage, bis zu 2.400 Watt Leistung zu liefern. AMAT Producer besteht aus mehreren Teilsystemen, darunter eine Vakuumkammer, Vakuumpumpen sowie Prozess- und Stromquellen. Die Vakuumkammer ist mit einem Viewport ausgestattet und enthält einen modularen, teleskopierbaren Suszeptor für bis zu 8-in-Wafer und kleine Proben. Die Vakuumpumpen sind für eine präzise Druckregelung ausgelegt und dienen zur Evakuierung der Kammer und zur Aufrechterhaltung eines vorgegebenen Drucks. ANGEWANDTE MATERIALIEN Das Sortiment der Prozessquellen des Herstellers umfasst sowohl DC- als auch RF-Magnetrone, die für Sputterabscheidungsprozesse und reaktive Ionenätzprozesse (RIE) verwendet werden. Das DC-Magnetron ist eine in sich geschlossene Quelle, die intern montiert ist, während das HF-Magnetron extern montiert ist und an das Hauptnetzteil angeschlossen ist. Die Stromquelle, die bis zu 2.400 Watt HF-Leistung liefert, ist modular aufgebaut und mit Vorkehrungen für die Abstimmung und Anpassung der HF-Quelle ausgestattet. Das interne Pyrometer ermöglicht eine In-situ-Temperaturüberwachung der Wafer während der Abscheidung, während der EOR-Plasma-Monitor es dem Bediener ermöglicht, den Endpunkt des Abscheidungsprozesses zu beurteilen. Dadurch kann der Bediener die Abscheidungsparameter feinjustieren und den Prozess optimieren. Der Hersteller ist auch in eine Reihe von Komponenten integriert, die eine Kühlung der Kammerwände ermöglichen, sowie in ein aktives Umweltkontrollsystem zur Überwachung und Regelung der Substrattemperatur und der Kammerreinheit. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer ist ein effizienter, vielseitiger und benutzerfreundlicher Reaktor, der hervorragende Dünnschichtabscheidungslösungen für eine Reihe von mikroelektronischen Anwendungen bietet. Es ist einfach zu bedienen und bietet die Flexibilität, von einem Prozess zum anderen zu wechseln, was eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit ermöglicht. Insgesamt ist dieser Reaktor eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die ein zuverlässiges und robustes Dünnschichtabscheidungssystem benötigen.