Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9111149 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9111149
CVD System, 12"
(3) Chambers
(4) Load Ports
EFM: Kawasaki Robot 30D61H-A002
TM: Brooks Mag 8, P/N: 0190-25011
AE APEX 3013, P/N: 3156114-006
MKS ASTRONex
Currently in cleanroom
2007 vintage.
Ein AMAT/APPLIED MATERIALS Producer, auch bekannt als AMAT Producer, ist ein fortschrittlicher Diffusions- und Epitaxiereaktor, der bei der Herstellung einer Reihe von Technologien verwendet wird, von Halbleiterbauelementen bis hin zu Solarzellen. DER HERSTELLER VON ANGEWANDTEN MATERIALIEN wurde entwickelt, um hochgenaue und wiederholbare dünne Folien zu erstellen, Zykluszeiten zu reduzieren und Prozessgleichmäßigkeit zu gewährleisten. Der Reaktor ist mit größeren Kammern als herkömmliche Prozesswerkzeuge gebaut, so dass ein verbesserter Durchsatz und mehrere Prozesse parallel durchgeführt werden können. Der Reaktor verwendet Hochtemperatur-Ultrahochvakuum (UHV) -Technologie, mit einer Heizquelle wie einem Elektronenstrahl, um Wärme bei genauen Temperaturen und Dicke zu liefern, um die gewünschte Dünnschichtstruktur auf dem Wafer zu schaffen. Der Wafer wird zunächst in eine UHV-Kammer in einem Halter gelegt, dann werden die Heizspulen verwendet, um es auf die erforderliche Temperatur zu erwärmen. Nach dem Erwärmen des Wafers wird eine Niederdruckquelle verwendet, um eine entsprechende Einleitung von entweder Gas oder kondensiertem Material wie Arsen oder Phosphor zu diffundieren. Dieses Gas oder Material wirkt als Dotierstoff, der dann durch die abgeschiedene Folie diffundiert, um die gewünschte Struktur zu bilden. Dieser Prozess hat Vorteile wie schnellere Prozesszykluszeiten, verbesserte Prozesskontrolle und eine höhere Konsistenz in der Produkt-zu-Produkt-Wiederholbarkeit. Der Hersteller eignet sich gut für Verfahren der Halbleiterherstellung, bei denen Dünnschichtwachstum und Dotierung erforderlich sind. AMAT/APPLIED MATERIALS Produzent kann auch verwendet werden, um Folien mit einer breiten Palette von Dicken, sowie Folien mit Rauheit und Schmelzeigenschaften zu erstellen. Hierdurch können verschiedene Bauelemente hergestellt werden, wie z.B. Transistoren, Dioden, Transceiver und Halbleiterspeicherchips. Die größere Flexibilität, Niederdrucktechnologie und Wiederholbarkeit von AMAT Producer machen es zu einem wertvollen Werkzeug für die Forschung und Entwicklung neuer Technologien. Seine Fähigkeiten und technologischen Fortschritte können für eine Vielzahl von fab Funktionen und Prozesse verwendet werden, so dass APPLIED MATERIALS Producer ein unverzichtbares Element der Fertigungstechnologie ist.
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