Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9192631 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer ist eine fortschrittliche Reaktortechnologie für Plasma Enhanced Molecular Beam Epitaxy (PEMBE). Der Reaktor ermöglicht die Entwicklung und Produktion von Halbleiterbauelementen im industriellen Maßstab und ermöglicht die Produktion von Bauelementen, die hohen Anforderungen an Halbleiterbauelemente entsprechen. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er eine hohe Prozesskontrolle ermöglicht, sodass die Geräteproduktion schnell und mit der höchsten Ausbeute und Effizienz der Geräte ablaufen kann. AMAT Producer besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer mehrdimensionalen Reaktorkammer, mit einer Hochfrequenzspule (RF), einem planaren Cordierit-Suszeptor und einem Spannfutter. Die hochautomatisierte Steuerungssoftware wurde entwickelt, um den Prozess der Geräteproduktion zu automatisieren und bietet eine Vielzahl von Einstellungen wie Gasdurchsatz, Abscheidetemperatur und andere Geräteparameter. Die Prozessparameter können über eine webbasierte Schnittstelle eingestellt werden, wodurch Anwender Geräteparameter im Handumdrehen einstellen und den Fortschritt der Geräteproduktion überwachen können. Das Chassis des Reaktors besteht aus einem Aluminiumrahmen mit einer Edelstahlaußenseite, wodurch es leicht und langlebig ist. Dieser Rahmen wird dann mit mehreren Bauteilen aus Hochleistungskeramik gefüllt. Die evakuierte Kammer hat einen Temperaturbereich zwischen 50-250 Grad Celsius mit einem hohen Druck von 10-13 Torr, ideal für die Reaktionsbedingungen, die innerhalb der plasmaverstärkten Molekularstrahlepitaxie auftreten. Eine HF-Spule liefert die notwendige Energie an das Substrat, das dann mit dem oder den Quellgasen reagiert, die in die Kammer eingeleitet werden. Die HF-Spule wird auch verwendet, um ein magnetisches Feld bereitzustellen, das verwendet wird, um die Elektronen- und Ionenstrahlen der zu untersuchenden Reaktion zu formen. Der flächige Cordierit-Suszeptor ist die Plattform innerhalb des Reaktors, auf der der Wafer für die gesamte Geräteentwicklung liegt. Aufgrund der Hochtemperaturumgebung der Reaktorkammer muss der Suszeptor die Fähigkeit haben, der Wärme standzuhalten, weshalb AMAT Suszeptoren mit Cordierit-Keramik herstellt, einem Material, das geringe Wärmeausdehnungsqualitäten aufweist. Dieses Material bietet auch einen hohen thermischen Schock und Festigkeit, so dass es eine gute Wahl für den Einsatz in dieser Art der Geräteherstellung. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Producer eine fortschrittliche Reaktortechnologie, die eine industriell relevante Plattform für die Geräteproduktion und Prozessentwicklung bietet. Durch die Bereitstellung eines hoch kontrollierbaren Parametersatzes erzeugt das Gerät ein konsistentes Produkt mit hoher Ausbeute, das hohen Anforderungen gerecht wird. Dank seiner leichten, langlebigen Konstruktion und robusten Komponenten kann das Gerät nach hohen Standards gewartet werden, und seine automatisierte Steuerungssoftware reduziert den manuellen Eingriff, der erforderlich ist, um die bestmögliche Geräteleistung zu erzielen.