Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9204130 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Hersteller ist ein Hochleistungs-Großreaktor für Wolfram chemische Dampfabscheidung (CVD) und Vor- und Nachbearbeitung von Wolfram-Schichten in Halbleiterbauelement Herstellung verwendet. Dieser Reaktor soll vertikal gleichmäßige, fehlerfreie Wolframschichten auf eine Vielzahl von Substraten liefern. Der Materials AMAT Producer ist mit einem großen Suszeptor-Durchmesser ausgestattet, der eine gleichmäßige Abscheidung von 720 mm und die Beseitigung der Ungleichmäßigkeit ermöglicht. Dieser Reaktor verfügt auch über eine einheitliche Suszeptor Temperaturregelung, so dass unabhängige Temperaturen, die auf beiden Seiten des Wafers eingestellt werden können. Der Hersteller ist auch mit einem Lichtstrahlmonitor ausgestattet, der eine Echtzeitüberwachung des Abscheidungsprozesses ermöglicht. In Bezug auf seine Fähigkeit, mehrere Arten von Materialien zu verarbeiten, ist der Materialhersteller in der Lage, CVD-Abscheidung, Ätzen und Reinigung durch Reaktionen mit einer Vielzahl von Reagenzgasen entwickelt. AMAT/APPLIED MATERIALS Hersteller wurde entwickelt, um Wolfram-basierte Strategien und Prozesse zu unterstützen, die Fähigkeit zur Verarbeitung einer Vielzahl von Wolfram-Substraten, wie Kupfer, Kupfer Wolfram, Molybdän und Siliciumdioxid. AMAT Producer ist ein Mehrkammer-Konfigurationsreaktor mit zwei Kammern: der Prozesskammer und der Gasquellenkammer. Die Prozesskammer umfasst eine Niederdruck-HF-Stromquelle, eine Reaktionskammer, zwei unabhängige Suszeptoren, eine Einkammer-Lasteinheit und eine Vakuumkammer. Die Gasquellenkammer besteht aus Öffnungen zur Steuerung des Gasdrucks und des Gasdurchsatzes, einem Spulenstück, einem Trockner und einem Regler zur Einstellung der Leistungs- und Reaktionsbedingungen. Der Hersteller von angewandten Materialien verfügt auch über leistungsstarke Software zur Bereitstellung von Echtzeit-Prozessbedingungen sowie fortschrittlichen Diagnose-, Datenprotokollierungs- und Analysetools. Abgerundet wird dieser Reaktor durch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die einen sichereren Betrieb fördern, einschließlich abgehängter Dunstabzugshauben, Vor-Ort-Personalüberwachung und einem 32-Punkte-Sicherheitsabschaltsystem. Zusammenfassend ist Producer ein fortschrittlicher und leistungsstarker Reaktor für Wolfram-CVD und Vor- und Nachbearbeitung von Schichten. Dieser Reaktor bietet eine präzise Kontrolle der Reaktionsbedingungen, unterstützt mehrere Materialien und enthält eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um einen sichereren Betrieb zu gewährleisten.