Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9213897 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9213897
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
System, 8"
Process application: Silicon oxide and silicon nitride
SMIF: (4) ASYST INX 2200
Mainframe: FR BROOKS
NESLAB Steelhead1 Chiller
Mainframe pump: IPX 100
Process chamber A:
Type: Silicon oxide and silicon nitride
AE RG 2000 Generator
Chuck: Ceramic heater
Clean unit: RPS
Gas configuration:
N2 10000 SCCM
NF3 3000 SCCM
NH3 100 SCCM
NH3 1000 SCCM
SIH4 500 SCCM
N2O 500 SCCM
N2O 5000 SCCM
AR 5000 SCCM
Process chamber B:
Type: Silicon oxide and silicon nitride
AE RG 2000 Generator
Chuck: Ceramic heater
Clean unit: RPS
Gas configuration:
N2 10000 SCCM
NF3 3000 SCCM
NH3 100 SCCM
NH3 1000 SCCM
SIH4 500 SCCM
N2O 500 SCCM
N2O 5000 SCCM
AR 5000 SCCM
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Hersteller (auch bekannt als MXTD) ist eine Art von Reaktor, der bei der Herstellung von fortschrittlichen Materialprodukten verwendet wird. Es ist eine Multi-Prozess-Batch-Kammerausrüstung mit mehreren Reaktionskammern und Präzisionsprozesssteuerung. Das System ist in der Lage, monolithische und Verbundwerkstoffe herzustellen, wie sie in mikroelektronischen Geräten und fortgeschrittenen optischen Komponenten verwendet werden. Die Kammereinheit besteht aus mehreren unterschiedlich großen Prozesskammern, die den Bedürfnissen des Benutzers angepasst werden können. Jede Kammer ist mit einzigartigen vorinstallierten Geräten und Komponenten wie Rotationspumpen, Ventilen und Stromversorgungen ausgestattet. Bei Gebrauch der Kammer werden die Reaktionskammern mit einer gewählten Lösung gefüllt und der Prozess gestartet. Innerhalb der Reaktionskammern wird bei Prozessbeginn ein Vakuum erzeugt und der Druck aufrechterhalten, um eine hochwertige Materialproduktion zu gewährleisten. Sobald der Prozess eingeleitet ist, kann der Anwender die Reaktion durch Einstellung der Temperatur, des Drucks und der Strömungsgeschwindigkeiten steuern. Die Reaktion verläuft dann, bis das gewünschte Produkt erhalten ist. AMAT Producer sorgt für einheitliche Zusammensetzung, hohe Reinheit und ausgezeichnete Homogenität. Der MXTD ist auch mit einer Vielzahl von zusätzlichen Funktionen ausgestattet, die ihn für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Die integrierte Piezoscanner-Maschine, die in den Reaktor integriert ist, ermöglicht die präzise Messung von Prozessgrößen wie Temperatur und Druck auch bei niedrigen Pegeln. Es bietet auch eine stabile Umgebung für die konsistente Wiederholung der gleichen Verarbeitungstechnik, wodurch MXTD in hohem Maße wiederholbar ist. Der MXTD-Reaktor verfügt auch über ein erweitertes Datenerfassungstool, das zur Analyse der Prozessdaten sowie zur Prozesssteuerung verwendet werden kann. Mit diesem Asset können Benutzer Daten selbst in Echtzeit anzeigen oder den Reaktionsprozess mithilfe von Analysesoftware von Drittanbietern speichern und analysieren. Insgesamt ist das MXTD ein fortschrittliches, vielseitiges und universelles Reaktionskammermodell, das qualitativ hochwertige monolithische und Verbundprodukte herstellen kann. Die integrierten Prozessleitsysteme sorgen für Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit der Produkte, während die technologisch fortschrittlichen Datenerfassungsgeräte es Anwendern ermöglichen, die Prozessdaten zu analysieren und weitere Einblicke in ihre Anwendungen zu erhalten.
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