Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9221488 zu verkaufen
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AMAT Produce ist ein Reaktor für verschiedene Fertigungsprozesse. Dieser Reaktor wird zur Dünnschichtabscheidung verwendet, was eine außergewöhnliche Kontrolle und Gleichmäßigkeit der Filmeigenschaften über einen weiten Bereich von Filmdicke und Abscheideraten ermöglicht. Das Gerät ist für die Chargen- oder Inline-Verarbeitung konzipiert und ermöglicht eine breite Palette von Prozess- und Materialkombinationen. Das System liefert wiederholbare, kontrollierbare und zuverlässige Prozess- und Gleichmäßigkeitsergebnisse. AMAT/APPLIED MATERIALS Hersteller umfasst zwei Long Island Abscheidungsquellen und zwei Hauptkammern mit jeweils zwei Lastschlössern. Die Lastschlösser können zu einer einzigen Kammeranordnung verschraubt werden. Die beiden Lastschlösser auf jeder Seite werden getrennt entlüftet, um Prozessdrücke und Temperaturen zu steuern. Die Kammerkomponenten und Lastschlösser sind aus hochwertigem Edelstahl und Aluminium sowie einem optionalen Titan ausgekleideten Kammerboden gefertigt. Die Kammerabmessungen, Innentemperatur und Druck werden durch einen integrierten, rechnergesteuerten Temperatur- und Druckregler gehalten und überwacht. AMAT Producer ist für Anwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert und bietet Produktionsraten von bis zu 30 Dünnschichtstrukturen in 15 Minuten. Die Abscheidungsquelle liefert bis zu 1 kW Substratleistung für gleichmäßige Dünnschichtabscheidung. Diese Quelle kann manuell oder automatisch betrieben werden. Der manuelle Modus ermöglicht es Prozessbetreibern, Variablen einschließlich Temperatur, Druck und Durchfluss der Prozessgase des Reaktors genau zu steuern. Der Automatikmodus ermöglicht die Fernsteuerung dieser Variablen. Das Steuergerät für APPLIED MATERIALS Producer basiert auf bewährter Maschinenarchitektur. Das Tool umfasst eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der der Benutzer Prozessparameter eingeben, die Prozessleistung überwachen und auf historische Daten über mehrere Prozesse zugreifen kann. Das Asset umfasst auch ein leistungsstarkes Prozessentwicklungsmodul, um Dünnschichtabscheidungsprozesse schnell einzurichten und zu optimieren. Hersteller verfügt über eine Vielzahl von physikalischen und chemischen Sensoren, die die Parameter von reaktiven Prozessgasen und Dünnschichtabscheidungsleistung messen. Diese überwachten Parameter umfassen Abscheiderate und Gleichmäßigkeit, Substrattemperatur und thermoelektrische Abscheiderate. Das Modell stellt sicher, dass der Dünnschichtabscheidungsprozess den gewünschten Parametern folgt. AMAT/APPLIED MATERIALS Produzent ist ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es eignet sich gut für Anwendungen, die eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung auf Substraten mit hohen Aspektverhältnissen von bis zu 20:1 erfordern. Das Gerät bietet hohe Durchsatzmöglichkeiten und ermöglicht Prozessentwicklern den schnellen Aufbau und die Optimierung von Dünnschichtabscheidungsprozessen. Mit seinem fortschrittlichen Kontrollsystem und seinen Qualitätskomponenten ist es die ideale Plattform für eine zuverlässige und wiederholbare Dünnschichtabscheidungsverarbeitung.
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