Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9262473 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer ist ein fortschrittlicher Abscheide- und Ätzreaktor, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es beinhaltet die neuesten technologischen Fortschritte, um das Abscheiden und Ätzen von Schichten im Nanometermaßstab mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Das Gerät nutzt eine Plasmakammer mit zwei Elektronenquellen, um hochenergetische Ionen mit einer Vielzahl von Parametern wie Stromstärke und Plasmaspezies zu erzeugen. Dies ermöglicht die Abscheidung von Materialien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit auf Substraten mit definierten Größen und Dicken. Die Kammer ist mit einer optischen Emissionsspektrometrie ausgestattet, die die chemische Zusammensetzung des Plasmas überwacht und die genaue Steuerung der gewünschten Energieniveaus und Dotierungsprofile ermöglicht. Zur Überwachung der Zerstäubungsraten der ankommenden Plasmaionen auf das Substrat ist auch eine massenspektrometrische Komponente enthalten. Das System ist auch zu einer Vielzahl von Ätzprozessen in der Lage, wie reaktives Ionenätzen, tiefenreaktives Ionenätzen und plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung. Das Gerät verfügt zudem über umfassende Steuerungsfunktionen durch eine umfassende grafische Benutzeroberfläche und Prozesssteuerungsmaschine. Das Prozesssteuerungstool bietet Anwendern eine Reihe simulationsbasierter Prozesse zur Unterstützung bei der Erstellung von branchenüblichen Prozessrezepten. Die Kammer ist hochmodular aufgebaut und kann für unterschiedliche Prozessrezepte konfiguriert werden, so dass Anwender bestimmte Prozesse ausführen können, die für die jeweilige Anwendung optimiert sind. Das Design der Anlage ermöglicht es, eine Vielzahl von Ablagerungs- und Ätzprozessen unterzubringen. Die Abscheidekammer besteht aus einem doppelt betriebenen Substrathalter mit variabler Leistung und einem nichtflüchtigen Speichermodell. Zur Durchführung spezifischer Prozesse können der Kammer je nach Bedarf reaktive Gase und Spezialgase zugesetzt werden. Die Ätzkammer ist darauf ausgelegt, Schäden am Substrat zu minimieren und hochselektive Ätzprozesse durchzuführen. AMAT Producer ist eine leistungsstarke Halbleiterproduktionsanlage, die eine hochpräzise Abscheidung und Ätzung gewährleistet. Es ist für extreme Genauigkeit, hohen Durchsatz und erweiterte Prozesskontrolle konzipiert. Das System eignet sich für die Herstellung von Halbleiterbauelementen von extrem kleinen Merkmalen bis hin zu großen Substraten mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit.
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