Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura II #293664711 zu verkaufen

ID: 293664711
Wafergröße: 12"
12" Process: ALPS.
AMAT/APPLIED MATERIALS PVD-Kammer für Endura II ist ein fortschrittlicher physikalischer Bedampfungsreaktor, der für die Dünnschichtabscheidung ausgelegt ist. Das Gerät verwendet eine einzigartige patentierte Technologie, um konforme dünne Folien auf großen Flächen mehrerer Substrate abzulegen. Die Mehrformkammer dieses Systems bietet eine unübertroffene Gleichmäßigkeit und Konformität und ermöglicht gleichmäßige Dünnschichtablagerungen über die gesamte Fläche des Substrats. Das Gerät ist sowohl für die Vorproduktion als auch für eine zuverlässige Kammerreinheit durch die Konstruktion einer innovativen Kammergeometrie und ein optimiertes Gasflussmanagement optimiert. Das Kammerdesign vereint einen erweiterten Substratquellenabstand, eine reduzierte Kammerhöhe und eine verbesserte Gasflussmanagementmaschine, um zuverlässige Dünnschichtabscheidungsprozesse zu gewährleisten. Die Kammer ist mit einem Ausgangsmaterialverteilwerkzeug integriert und kann mit einem breiten Spektrum von Ausgangsmaterialien und einer Reihe von Sublimations- und Verdampfungsprozessen konfiguriert werden. Es verfügt auch über erweiterte Sicherheits- und Steuerungsfunktionen, mit einer automatisierten Prozesskontrolle für den Schutz von Personal und Ausrüstung. Das Modell verfügt außerdem über eine einzigartige, hardwareunterstützte Prozessüberwachungs- und Steuerungsausrüstung mit integrierter Diagnose und Prozessparameterberichterstattung. Die Kammer ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungsbereichen wie dotierten Halbleitermaterialien, Metalloxid-Dünnschichten, Polymeren und keramischen Materialien ausgelegt. Das System ermöglicht eine zuverlässige Abscheidung dieser Materialien mit kontrollierten Prozessparametern, wodurch sich wiederholende, hochwertige Dünnschichten mit hoher Gleichmäßigkeit über große Flächen hinweg erzielen lassen. AMAT PVD-Kammer für Endura II ist eine fortschrittliche Einheit, die ein hohes Maß an Leistung und Kontrolle für Dünnschichtabscheidung bietet. Mit einer Reihe von Funktionen und Sicherheitssystemen ist die Maschine auf zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse in den unterschiedlichsten Anwendungsbereichen ausgelegt. Das Kammerdesign bietet optimierte Prozessparameter, außergewöhnliche Gleichmäßigkeit und zuverlässige Abscheidung und ist damit ein ideales Werkzeug für die anspruchsvollsten Dünnschichtabscheidungsprozesse.
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