Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375622 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2 ist eine Hochleistungs- und Hochleistungsreaktorausrüstung, die in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten: dem Substratträgertisch und der Reaktorkammer. Der Trägertisch ist aus Edelstahl gefertigt und unterstützt die Substrate bei der Verarbeitung. Die Reaktorkammer ist eine Atmosphärendruck-qualifizierte Vakuumkammer aus Edelstahl und dient dazu, den Substraten während des Prozesses eine saubere und sichere Umgebung zu bieten. AMAT Siconi R2 verfügt über einen großen Funktionsumfang, der eine präzise und wiederholbare Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Das Gerät ist mit einem HF-Generator, einem präzisen luftgekühlten Futter, das eine gleichmäßige Temperaturverteilung bietet, und einer fortschrittlichen Echtzeit-Gassteuerungsmaschine ausgestattet. Der HF-Generator ist in der Lage, bis zu 10 Watt HF-Leistung zu liefern und bietet Prozesswiederholbarkeit während des gesamten Zyklus. Das luftgekühlte Futter ist so konzipiert, dass es thermische Gradienten über den gesamten Wafer verringert und einheitliche Prozessparameter wie Oxiddicke und Ätztiefe ermöglicht. Das Echtzeit-Steuerungstool ermöglicht eine präzise Reaktionskontrolle während des Zyklus und gewährleistet eine gleichbleibende Qualität und Wiederholbarkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Siconi R2 bietet eine optimale Umgebung für die Prozesssteuerung, die höchste Prozesswiederholbarkeit bei minimaler Werkzeugausfallzeit ermöglicht. Seine präzise und wiederholbare Steuerung der Prozessparameter führt zu verbesserten Fertigungsausbeuten. Die Anlage ist für die automatisierte Fertigung konzipiert und fungiert als wichtiges Bindeglied im Halbleiterbauelementherstellungsprozess. Dieses hochmoderne Reaktormodell bietet eine sichere, saubere und konstant wiederholbare Atmosphäre und ermöglicht gleichzeitig einen maximalen Durchsatz.
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