Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS System #293654409 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Equipment ist ein Hochleistungs-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) AMAT System. Sein Design ist eine Single-Wafer-Stil, All-Metall-Keramik-Vakuumkammer, die konfigurierbare zwei kapazitiv gekoppelte Plasmaquellen und mehrere Heizzonen enthält. Diese APPLIKATIONSWERKSTOFFEINHEIT ermöglicht eine präzise Steuerung von Filmabscheide- und Oberflächenmodifizierungsprozessen für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Halbleiter, Optoelektronik und MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Die dualen Plasmaquellen in Machine kombinieren HF-Leistung mit Prozessgasen zur Erzeugung energiereicher reaktiver Spezies. Diese Arten werden über den erhitzten Wafer diffundiert, was zu einer gleichmäßigen Abscheidung und umfangreichen Oberflächenmodifikation führt. Darüber hinaus wird auch der Polysiliziumabscheidungsprozess durch den Einsatz von höherer HF-Leistung und feinabgestelltem Gasstrom verbessert. Die Temperaturen des Wafers werden durch ein erweitertes Wärmezonenmanagement AMAT/APPLIED MATERIALS Tool verwaltet. Diese AMAT Asset besteht aus mehreren unabhängigen Heiztemperaturen, die eine vollständige Kontrolle der thermischen Zyklen ermöglichen. Die Temperatur in jeder Zone wird mit Hilfe einer erweiterten PID-Steuerung (proportional, integral und derivativ) überwacht und eingestellt. Die Temperaturebenen des Prozesses können auch genau auf die Bedürfnisse der Anwendung abgestimmt werden. Der PECVD-Reaktor verfügt auch über eine eingebaute Cold Cathode Ionization Vacuum (CCIV) -Pumpe, die den höchsten Grad an Vakuumsteuerung bietet. Dadurch entfällt die Anforderung an eine externe Vakuumpumpe, was Kosten senkt und die Leistung des APPLIED MATERIALS Model verbessert. Die CCIV-Pumpe wurde entwickelt, um das hohe Volumen der von Equipment erzeugten Gase zu bewältigen und gleichzeitig einen extrem niedrigen Gasdruck bereitzustellen. Schließlich kann das AMAT/APPLIED MATERIALS System in die AMAT Prozesssteuerungssoftware integriert werden. Diese Software ermöglicht es Benutzern, die gesamte AMAT-Einheit fernzuüberwachen und zu steuern und bietet volle Einsicht in den Abscheide- und Oberflächenmodifizierungsprozess. Durch die Automatisierung des Prozesses sorgt APPLIED MATERIALS Machine für optimale Leistung und Effizienz.