Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665500 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Doppelkammer für Producer SE ist ein Prozessor und/oder Ätzer, der für Halbleiterherstellungsprozesse, wie z.B. selektives Ätzen, ausgelegt ist. Dieser Reaktormotor besteht aus zwei Kammern, der Ätzkammer und der Prozesskammer. Beide Kammern sind für hohe Temperaturen und Vakuumspiegel ausgelegt. Die Ätzkammer besteht aus einer Elektronenschlagätzquelle (EIE) mit einem Tetroden- oder Magnetronentladungsmodus. Die EIE-Quelle erzeugt Elektronen zur Erzeugung von Ionen höherer Energie, was die Ätzrate und Prozessselektivität erhöht. Die Prozesskammer weist eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) auf, um ein höheres Seitenverhältnis bei schwer ätzbaren Materialien zu erzeugen. Das ICP erzeugt Hochdruckplasmen für reaktive Strategien, was zu geringeren Materialschäden führt. Die Pumpenausrüstung der AMAT Twin-Kammer für Producer SE ist für extrem leckagearmen Betrieb ausgelegt. Hochvakuumpumpen erzeugt eine breite Palette von Prozessbetriebsdrücken ermöglicht hochauflösende Ätzverarbeitung. Es steht auch ein automatisierter Optimierer zur Verfügung, der eine präzise Druckregelung innerhalb der Kammern ermöglicht. Das automatisierte Probenahmesystem bietet eine schnelle und zuverlässige Probenauswertung und Prozessüberwachung. Die Einheit kann mit Hilfe von On-Wafer-Gasproben gleichzeitig die Ätzrate und Selektivität verschiedener Gase analysieren. Die optische Maschine des automatisierten Probenahmewerkzeugs verwendet eine digitale Videokamera, die eine genaue Auswertung der Probe ergibt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Doppelkammer für Produzent SE beherbergt auch den State-of-the-Art Control Computer, der ein leistungsstarker Personal Computer mit einer grafischen Benutzeroberfläche ist. Damit lassen sich optimale Datenerfassungs- und Steuerungsfunktionen für eine schnelle Prozessrückmeldung anwenden. Das Asset erleichtert auch einfache Rezepte und arbeitet mit einem Windows-basierten Betriebsmodell. AMAT ist für maximalen Durchsatz und Ertrag konzipiert, mit Flexibilität, eine Vielzahl von Chemikalien zu verwenden. Auch diese Kammer ist sehr zuverlässig und erfordert eine minimale Wartung. Die Kammer ist mit einer Vielzahl von Zubehörteilen wie Gasschränken, Rezeptbehältern, einem Abgasreiniger und Absperrventilen ausgestattet. All diese Merkmale machen die Doppelkammer für Producer SE zu einer idealen Wahl für Halbleiterherstellungsprozesse.