Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665501 zu verkaufen

Der AMAT Producer SE Twin Chamber Reactor ist eine robuste, einfach zu bedienende, chargenverarbeitende Ausrüstung für das Hochgeschwindigkeitsätzen und Abscheiden von Siliziumscheiben. Dieses fortschrittliche Zweikammer-Bearbeitungssystem bietet ultimative Prozessflexibilität mit der Fähigkeit zum Ätzen, Abscheiden und Kombinieren beider Prozesse. Der Producer SE Twin Chamber Reactor ermöglicht eine hohe Durchlaufverarbeitung und kann eine ausgezeichnete Filmschrittabdeckung und eine hohe Profil-Gleichmäßigkeit erreichen. Die erste Kammer, die Ätzkammer, verarbeitet bis zu neun einzeln gesteuerte Wafer und Merkmale sowie aggressive Gasfördereinheit und Leiterwafer-Ladeträger. Diese Kammer verwendet HF als Vorläufer, um Siliziumoxid und Nitrid zu ätzen. Mit der High-End-Technologie wie fortschrittlichen Massenspektrometern und hochempfindlichen Vibrationsmassendurchschlagsgeräten lassen sich Ätzrate und Selektivität erzielen und in Kombination mit der fortschrittlichen Oberflächentemperaturregelung und einer geschlossenen Waferbeladungsmaschine gute Prozessausbeuten und Reproduzierbarkeit erzielen. Die zweite Kammer, die Abscheidekammer, weist einen integrierten vertikalen Duschkopf auf, der eine hervorragende Abscheidegleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Der Hochleistungsduschkopf wird durch fortschrittliche Abgas- und Durchflusstemperaturmessung unterstützt, um niedrige Verschmutzungswerte zu gewährleisten. Die Kammer ist für zwei bis sechs individuell gesteuerte Wafer ausgelegt und verwendet Hochtemperaturfolien wie PECVD TEOS als Vorläufer. Das geschlossene Wafer-Ladewerkzeug und die erweiterte Massenspektrometrie können verwendet werden, um die Abscheidungsleistung zu maximieren und eine ausgezeichnete Filmschrittabdeckung zu erzielen. Der Producer SE Twin Chamber Reactor ist für die großtechnische Verarbeitung ausgelegt. Das Tranport-Modell bietet eine effiziente automatisierte Handhabung von bis zu fünfzig Wafern, was den Durchsatz der Geräte weiter erhöht. Es ist ein verbessertes System mit verbesserter Steuerungssoftware und erweiterter Prozessüberwachungsfähigkeit. Es ermöglicht die vollständige Anpassung der Prozessparameter für jeden Schritt und bietet eine extrem schnelle und einfache Einrichtung. Dadurch laufen Prozesse unter optimalen Bedingungen bei gleichzeitiger Verbesserung der Erträge und Reduzierung der Zykluszeiten. Diese fortschrittliche Zwei-Kammer-Bearbeitungseinheit kann die ultimative Prozessflexibilität für Ätz- und Abscheidungsanwendungen bieten.