Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665727 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Doppelkammer für Producer SE ist ein Hochleistungs-Halbleiterätzreaktor, der eine präzise Steuerung der Ätzprozessbedingungen mit deutlich erhöhter Gleichmäßigkeit und geringeren Fehlerraten als herkömmliche Einkammer-Ätzwerkzeuge ermöglicht. Das Gerät besteht aus zwei unabhängigen Vakuumkammern mit jeweils einer eigenen Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasmaquelle. Dies ermöglicht eine präzise gleichzeitige Ätzbearbeitung von zwei getrennten Substraten in jeder Vakuumkammer. Die beiden unabhängigen ECR-Plasmaquellen in jeder Kammer zeichnen sich durch einfachen Zugang und einfache Wartung aus. Jede Plasmaquelle ist in der Lage, Plasmaleistung, Frequenz, HF-Vorspannung und Gasverteilung für verbesserte Prozessausbeuten genau zu steuern. Darüber hinaus ermöglicht das erweiterte Mehrpunkt-Probenautomatisierungssystem das Werkzeug, die Prozessbedingungen während der Ätzdurchläufe automatisch anzupassen und die automatische Optimierung von Ätzprozessen zu ermöglichen. Die Kammern sind in einem Roboterwerkzeug-Transportrahmen untergebracht, der die Waferübertragungseinheit, Sanitär und HF (Hochfrequenz) abgeschirmte Abschirmung enthält. Dies ermöglicht eine schnelle und einfache Übertragung von zwei Substraten zwischen den beiden Kammern mit minimaler Verschmutzung. Der Rahmen ermöglicht auch eine effizientere Wartung, da dadurch der manuelle Zugriff auf die Kammern entfällt. Herzstück der Maschine ist ihre Software-Steueroberfläche, die eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für eine einfache Werkzeugeinrichtung und Prozesssteuerung sowie leistungsstarke Funktionen wie automatisierte Prozessoptimierung und -überwachung, Fehlerdiagnose, Anwendersicherheit, Alarme, Datenprotokollierung und FDA GxP-Konformität mit 21 CFR R 11. Dies ermöglicht eine einfache und genaue Bedienung der Anlage mit stark wiederholbaren Ätzergebnissen. AMAT Twin Chamber for Producer SE ist ein leistungsstarkes Ätzwerkzeug, das Ingenieuren und Wissenschaftlern ermöglicht, qualitativ hochwertige Präzisionsätzergebnisse zu erzielen und gleichzeitig Prozesszeit und -kosten zu reduzieren. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, einem guten Ruf für Zuverlässigkeit und außergewöhnlicher Leistung bietet es eine hervorragende kostengünstige Lösung für Ätzanwendungen.