Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665728 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Doppelkammer für Producer SE ist eine spezialisierte Reaktionskammer, die für die Hochleistungsverarbeitung von Wafersubstraten entwickelt wurde. Die Anlagen werden in mehreren Konfigurationen angeboten, um den Anforderungen verschiedener Produktionsprozesse gerecht zu werden. Die Doppelkammer verfügt über zwei Hochvakuum-Reaktionskammern: eine untere Kammer zum Abscheiden von Siliziumoxid, Polysilizium, Nitrid oder anderen Verbindungen und eine obere Kammer zum Ätzen und andere Operationen. Die untere Kammer ist mit einer Vielzahl von Quellen ausgestattet und für die Verarbeitungsgleichförmigkeit temperaturgeregelt. Es besitzt eine beheizte Grundplatte zur Aufrechterhaltung der Wafertemperatur während der Verarbeitung sowie zwei separate Plattensysteme zur gleichmäßigen Filmabscheidung. Die Kammer weist außerdem ein Hochdruckgasfördersystem und eine automatisierte Gasmanagementeinheit auf. Die obere Kammer ist für Operationen wie tiefes Siliziumätzen und verschiedene LPCVD-Prozesse ausgelegt. Es ist mit einer vollständigen Auswahl an keramisch ausgekleideten linearen HF-Quellen sowie einer Vielzahl von Keramik- und Quarzanodenplatten zum Tiefätzen ausgestattet. Die Kammer umfasst auch eine Hochdruckmaschine zur Abgabe verschiedener Gase für Ätzprozesse. Beide Kammern wurden so konzipiert, dass sie zusammenarbeiten, um eine leistungsstarke Verarbeitung zu ermöglichen. Die untere Kammer liefert eine gleichmäßige Materialabscheidung, während die obere Kammer bei Bedarf verschiedene andere Materialien ätzt und ablagert. Das Werkzeug ist auch mit Hochtemperatur-Heizelementen ausgestattet, die eine verbesserte Wafer-Gleichmäßigkeit in den Hochtemperaturprozessen, wie z.B. Titanabscheidung, ermöglichen. Zum Asset gehört auch ein automatisiertes Wafer-Handling-Modell zur Übertragung von Wafern zwischen den beiden Kammern. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um eine schnelle und effiziente Waferbearbeitung zu ermöglichen. Das System ist auch für die Integration mit Prozesssteuerungssoftware und einem Hostcomputer konzipiert, die eine Echtzeitüberwachung und Kontrolle von Prozessparametern ermöglicht. AMAT Twin-Kammer für Producer SE wurde entwickelt, um Hochleistungs-Wafer-Verarbeitung für eine Reihe von Anwendungen zu bieten. Die Kombination aus zwei getrennten Kammern und einer automatisierten Wafer-Handhabungseinheit hat es der Maschine ermöglicht, Qualitätsergebnisse mit reduzierten Zykluszeiten zu liefern. Dies macht es zu einer idealen Lösung für diejenigen, die ihren Produktionsprozess verbessern möchten.