Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #293797292 zu verkaufen
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ID: 293797292
Wafergröße: 8"
CVD Systems, 8"
(3) HDP Chambers
Cassette stage: 25-Position
LL Type: Wide body
Light tower: 4 Light
Dual Hard Disk Drive (HDD)
Gas type: SiF4, O2, SiH4, Ar, NF3
STEC Z512 MFC
Process cooling
Gas box exhaust
SEC II/GEM
(2) BROOKS AUTOMATION LPT2200
Smoke detector
Monitor and light pen: (2) Flat panels with touch screen
MFC Type: BROOKS AUTOMATION GF100
Type / Flow (SCCM)
SiF4 / 100
O2 / 400
SiH4 / 200
Ar / 300
SiH4 / 20
Ar / 50
NF3 / 2000
Ar / 2000
Power supply: 208 V, 50 W, 3 Phase, 50 Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP Reaktor ist eine Plasmabearbeitungskammer zur Plasmaabscheidung und zum Ätzen dünner Filme. Es wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Gleichmäßigkeit und Produktivität in präzisen Dünnschichtabscheidungs- und Ätzprozessen zu liefern. Der HDP-Reaktor ist mit einem fortgeschrittenen Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Magnetfeld ausgestattet, das eine gleichmäßige Plasmaätzung und Abscheidung über eine große Fläche liefert. Der ECR erzeugt ein gleichmäßiges elektrisches Feld zur Ionisierung und Beschleunigung von Gasmolekülen und erzeugt ein hochgleichmäßiges Plasma mit konsistenterer Ätzung und Abscheidung. Der HDP-Reaktor ist aus Edelstahl gefertigt und verfügt über eine große Prozesskammer mit einem hohen Kühlmittelgasstrom durch die Kammer für eine verbesserte thermische Gleichmäßigkeit. Es hat auch eine doppelte Abscheidungsquelle, die die Gleichmäßigkeit erhöht, mit der Fähigkeit, abwechselnd zwischen mehreren Plasmen zu wechseln, um mehrere Schichten abzuscheiden. AMAT Ultima HDP ist ein leistungsstarkes Werkzeug zum präzisen Ätzen und Ablegen von dünnen Folien. Es bietet branchenführenden Durchsatz, konsistente Einheitlichkeit und überlegene Mikrostrukturkontrolle als herkömmliche Plasmabearbeitungswerkzeuge. Die verbesserte Gleichmäßigkeit und Temperaturregelung ist zum Teil auf eine perforierte Wandgestaltung zurückzuführen, die die Gase gleichmäßig durch die Prozesskammer bewegt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Ultima HDP umfasst anspruchsvolle Druckkontroll- und Sensortechnologien und -fähigkeiten. Der HDP-Reaktor ermöglicht eine signifikante Skalierung und Integration von Prozessen und bietet Kunden einen verbesserten Durchsatz und Produktivität bei gleichzeitiger Erhöhung der Kontrolle im Abscheide- und Ätzprozess. Es ist eine vielseitige Lösung, die eine direkte Integration mit anderen Komponenten des Prozesses sowie die Integration in bestehende Reinraumumgebungen ermöglicht. Ultima HDP ist Teil der AMAT-Familie von Plasmabearbeitungswerkzeugen, die eine Vielzahl von Fähigkeiten in der Ätz-, Abscheidungs- und Oberflächenmodifizierung hat. Es wurde entwickelt, um den Anforderungen der heutigen High-Tech-Forschungszentren und Fertigungsanlagen gerecht zu werden. unterstützt durch unternehmensweiten Kundensupport von APPLIED MATERIALS, können Kunden das Beste aus ihrer Technologie und ihren Produktionsprozessen herausholen.
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