Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #9315128 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP (High Density Plasma) Reaktor ist ein modernes Prozesswerkzeug, das die Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Schaltungen und Geräte ermöglicht. Der in Zusammenarbeit mit Plasma-Therm entwickelte AMAT Ultima HDP-Reaktor bietet eine hohe Durchsatzproduktion aus einer breiten Palette von Materialien und Geräten, einschließlich neuartiger finFET- und Dual-Gate-Architekturen. EINSATZMATERIALIEN Ultima HDP-Reaktor kombiniert eine hochdichte Plasmaquelle (HDP) mit einer mehrstufigen kaskadierten Plasmaentladungskammer, die von einem Quarzkammerkörper umschlossen und von einer kaltwandtrockenen Prozessvakuumanlage evakuiert wird. Diese Kombination von Technologie ermöglicht eine Hochdurchsatzverarbeitung der am schwierigsten zu bearbeitenden Materialien und Geräte. Ultima HDP reagiert auf eine Vielzahl von Gasen, darunter Ar, H2, N2, O2 und H2O. Das breite Spektrum an Gasen, gekoppelt mit einer anodischen elektrischen Vorspannung, ermöglicht eine präzise Steuerung der chemischen und physikalischen Verarbeitungsparameter und ermöglicht die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien, darunter Si, SiGe, SiC und GaAs. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP-Reaktor ist mit einem umfassenden Diagnosesatz und einem Echtzeit-Überwachungssystem ausgestattet, mit dem die Prozessbedingungen während eines Laufs überwacht werden können. Die Echtzeit-Überwachungseinheit umfasst Gasprobenentnahme, Partikelzählung, Drucküberwachung, Temperaturüberwachung sowie Stromfluss- und Vorspannungsüberwachung. Diese Echtzeit-Überwachungsmaschine ermöglicht es dem Benutzer, die Prozessparameter anzupassen und zu optimieren, um die Prozesswiederholbarkeit und -leistung zu verbessern. Das eingebaute Gasdosierwerkzeug ermöglicht auch eine verbesserte Steuerung der Prozesschemie und sorgt für eine verbesserte Effizienz bei der Gasverwertung. Auch der AMAT Ultima HDP Reaktor bietet dank seiner intelligenten Sicherheitssysteme verbesserte Sicherheitsfunktionen. Dazu gehören die automatische Abschaltung bei Gasleckagen, plötzliche Druck- oder Temperaturänderungen oder Stromstöße. Die Anlage warnt den Betreiber auch im Notfall, so dass er die notwendigen Schritte ergreifen kann, um die Prozesssicherheit zu gewährleisten. Zusammenfassend ist APPLIED MATERIALS Ultima HDP Reaktor ein modernes Prozesswerkzeug, das die Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Schaltungen und Geräte ermöglicht. Die Kombination aus hochdichter Plasmaquelle und kaskadierter Plasmaentladungskammer in Verbindung mit der Partnerschaft mit Plasma-Therm macht Ultima HDP zum fortschrittlichsten Bearbeitungswerkzeug seiner Klasse. Das umfassende Diagnose- und Echtzeit-Überwachungsmodell ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit. Es bietet auch verbesserte Sicherheitsmerkmale, um die Prozesssicherheit im Notfall zu gewährleisten.