Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima Plus #9256871 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Plus ist eine Reaktorausrüstung der nächsten Generation der chemischen Dampfabscheidung (CVD), die für fortschrittliche Materialbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses vielseitige Rektorsystem ermöglicht die chargenweise Verarbeitung unterschiedlichster Materialien wie Metalle, Halbleiter, Oxide, Nitride und magnetisch/ferroelektrische Folien. Es ist eine erweiterte Version des Ultima® -Werkzeugs des Unternehmens. Das Design dieses Rektors zeichnet sich durch eine integrierte Kombination aus hocheffizienter Materialerwärmung, gleichmäßiger Plasmaperformance und Prozesssteuerungsinnovation aus. Der Quarzreaktor besteht aus zwei randgeschirmten Plasmaquellen, einem Dual-Suszeptor mit HF-Generator und einem beheizten Hubstift. Der Hubstift ist für eine homogene Übertragung des erwärmten Wafers vom Suszeptor zum Gaskasten im Reaktor ausgelegt. Die Motorsteuerung von AMAT Ultima Plus ermöglicht es Benutzern, den Abstand zwischen dem Suszeptor und dem Gaskasten fein einzustellen, um den Bearbeitungsraum einzustellen. Es ermöglicht es dem Anwender auch, die Temperatur über den Wafer sowie die Position des Wafers in der Mitte des Plasmareaktors genau zu steuern. Dieser Reaktor besitzt eine Niederdruck- und Mehrzonenfähigkeit mit einem Bereich von Prozesstemperaturen von Raumtemperatur bis 600 ° C. Es bietet auch eine Niederdruckverarbeitung für Materialien wie GaN, Diamant und Kohlenstoff-Nanoröhren und kann eine breite Palette von Materialien verarbeiten, bei denen eine Hochdruckverarbeitung nicht geeignet wäre. ANGEWANDTE MATERIALIEN Ultima Plus ist Standard mit diagnostischen Prozessen wie in-situ Ellipsometrie, Raman-Spektroskopie und Reflektometrie. Darüber hinaus verfügt es über Mehrrohr-Lastschloß, einen Edelstahlbalg, eine vier Magnetron-Bias-Plasmaquelle, eine leistungsstarke pulsmodulierte Plasmaquelle, eine automatisierte Betriebssteuerung und eine Vakuumeinheit. Die Maschine wurde entwickelt, um den Durchsatz zu optimieren und gleichzeitig die Verunreinigungsmöglichkeiten zu minimieren. Ultima Plus ermöglicht es den Anwendern, ihre Prozesse durch kundenspezifische Parameter wie Zeit, Druck, HF-Leistung und Temperatur schnell und genau zu steuern, um das optimale Rezept präzise einzuwählen. Die im Reaktor enthaltenen fortschrittlichen Sicherheitssysteme garantieren einen sicheren Betrieb und schützen die Prozessumgebung vor jeder Art von Kontamination.