Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293754394 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reaktor ist ein modernes Werkzeug zum Abscheiden von dünnen Schichten mit beispielloser Kontrolle über die Gleichmäßigkeit der Abscheidung. Es nutzt Ultrahochvakuumtechnologie, Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Plasmaquelle und erweiterte Prozesskontrolle, um Nanometer-Ebene Erhöhung der Leistung und Dicke Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen dünnen Filme, mit hohem Durchsatz und maximale Prozesssicherheit zu ermöglichen. Der AMAT Ultima X Reaktor bietet eine vollautomatische Prozessabfolge und Prozesssteuerung mit einstellbarer Drucksteuerung, Dual-Zone-Wafer-Rotation und fortschrittlicher Prozessmesstechnik. Dadurch werden die idealsten Arbeitsbedingungen erreicht, die konsistente und wiederholbare Ergebnisse ermöglichen. Die ECR-Plasmaquelle liefert ein gleichmäßiges, hochenergetisches Sauerstoffplasma und verfügt über ein breites Prozessfenster, das eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen ermöglicht, darunter Ätzen, Oxidation, Abscheidung, Glühen und Filmpassivierung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Ultima X Reaktor verfügt auch über eine auswechselbare lineare Bewegungsstufe, die eine schnelle und zuverlässige Waferbelastung ermöglicht. Es verfügt auch über eine Transferkammer für eine effiziente Waferübertragung zwischen Bearbeitungskammern, die eine hohe Prozessflexibilität bietet. Der Ultima X-Reaktor ist auch in der Lage, mehrere Prozesse parallel durchzuführen, was einen großen Durchsatz und eine hohe Verarbeitungsflexibilität bietet. Das System kann bis zu acht Prozesse in einer einzigen Kammer unterbringen, die für mehrere Wafergrößen konfiguriert werden kann. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reaktor bietet sowohl Niedertemperaturabscheidung und Hochtemperaturverarbeitung, so dass ultra-niedrige Abscheidungstemperaturen ohne Einbußen bei der Prozessleistung. Dies ermöglicht eine zuverlässige und konsistente Abscheidung bei hohen Abscheideraten. AMAT Ultima X Reaktor ist ein modernes Werkzeug, das höchste Prozesskontrolle, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit bietet und gleichzeitig einen hohen Durchsatz und Flexibilität bietet. Es ist ein wesentliches Werkzeug für die Erzielung der zuverlässigsten und reproduzierbaren Ergebnisse bei der Abscheidung von dünnen Schichten.