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AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X
ID: 9257392
System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X ist ein handelsüblicher Abscheidungsreaktor, der für eine effiziente räumliche, zeitliche und materielle Gleichmäßigkeit bei der Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Es bietet eine wirtschaftliche, aber effiziente Lösung für die Herstellung hochwertiger Dünnschichtfolien für Halbleiter-, MEM-, optische, Datenspeicher- und Touch-Panel-Anwendungen. Der modulare Aufbau ermöglicht den Multi-Target-Betrieb mit festen und manuellen Revolverwerkzeugen. AMAT Ultima X ist speziell für Niederdruck-, chemische Dampfabscheidung (LPCVD) und Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Prozesse konzipiert. Sein Mehrzweckdesign ermöglicht den Einsatz sowohl im halbindustriellen als auch im industriellen Umfeld und fertigt kostengünstig dünne Folien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit. Es verwendet eine linear rotierende UHV-Kammer zur präzisen Abscheidung von Dünnschichtmaterialien mit hoher Reinheit. Die fortgeschrittene Pulspausenabscheidung verkürzt unterdessen die gesamten Prozesszeiten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Ultima X ist bekannt für seine außergewöhnliche Gleichmäßigkeit und hochpräzise Dickenkontrolle über die gesamte Waferoberfläche, wodurch die Kanten-zu-Kanten-Variation minimiert wird. Es umfasst eine Reihe von Abscheidungswerkzeugen und ist für die Arbeit mit einer breiten Palette von Reaktanden und Materialien konzipiert. Seine umfassenden Temperatur-, Druck- und Durchflussregelungssysteme sorgen für eine gleichmäßige Störung, um ein sehr gleichmäßiges Ergebnis zu gewährleisten. Darüber hinaus ist Ultima X für überlegene Wafer-Handhabungsfunktionen ausgelegt, die mechanische Schäden verhindern und ein hohes Maß an Sicherheit während des Betriebs gewährleisten. Der modulare Aufbau erleichtert die einfache Installation und die Fenster- und Sichtwinkel des Reaktors sind an die Benutzereinstellungen anpassbar. Darüber hinaus kann der Reaktor einfach integriert und mit neuesten Automatisierungs- und Messtechnik-Lösungen verbunden werden. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X eine energieeffiziente, kostengünstige Abscheidelösung, die speziell für die Herstellung hochwertiger Dünnschichtlösungen für vielfältige Anwendungen entwickelt wurde. Seine robuste und modulare Konstruktion und das Spektrum an Prozessfähigkeiten machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug, das den Abscheidungsprozess optimiert.
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