Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9116892 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima
ID: 9116892
Wafergröße: 12"
Chamber, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor ist ein hochpräzises, hocheffizientes Prozesswerkzeug für die Herstellung von fortschrittlichen, niedertemperatur-, Dünnschichttransistor (TFT) -basierten Flachbildschirm-Anwendungen. Es ist das Vorzeigemodell der Prozesswerkzeugreihe AMAT Ultima. ANGEWANDTE MATERIALIEN Ultima Reactor ist für Dünnschichtabscheidungs- und Ätzprozesse ausgelegt. Es verfügt über ein Standard-Einkammersystem, mit dem mehrere Gase gleichzeitig dem Substrat zugeführt werden können. Das Design des Ultima Reaktors umfasst ein patentiertes RF-Plasmaerzeugungssystem, ein elektrostatisches Spannfutter für präzise Substratklemmung, ein automatisiertes Rückkopplungssystem und einen integrierten Temperaturregler. Das Substrat wird auf der Futteroberfläche gehalten und direkt mit dem Plasma innerhalb der Reaktorkammer reagiert. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor ist in der Lage, Filme so dünn wie 5 Nanometer abzuscheiden oder zu ätzen und kann eine Gleichmäßigkeit von 5 nm oder besser erreichen. Es ist auch in der Lage, Aluminium- und Metalloxidfilme bei Raumtemperaturen (20- 200⁰C) abzuscheiden und zu ätzen. Der Reaktor kann auch eine Vielzahl gasförmiger und flüssiger Chemien bei verschiedenen Drücken sowie die Abscheidung von Materialien bei hochdichtem Plasma handhaben. Darüber hinaus ist der Reaktor modular aufgebaut, so dass er an ein bestimmtes Verfahren angepasst werden kann. AMAT Ultima Reactor ist einfach zu bedienen und effizient in der Produktion. Es bietet ein zuverlässiges und wiederholbares Verfahren zum Abscheiden und Ätzen verschiedener dünner Filme, einschließlich polykristallinem Silizium, fluoriertem amorphem Silizium, Metalloxiden und Aluminosilikatfolien. Der Reaktor ist auch mit verschiedenen Substratmaterialien verträglich, wie Glas, Polyimid und Quarz. Schließlich bietet APPLIED MATERIALS Ultima Reactor eine lange Lebensdauer zuverlässiger Prozessleistung.
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