Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9163587 zu verkaufen
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ID: 9163587
Wafergröße: 12"
CVD System, 12"
Includes:
Main frame:
VHP
Robot
Driver
FI Unit:
(2) KAWASAKI Robots
Primary AC rack.
.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reaktor ist eine Hochleistungs-physikalische Dampfabscheidung (PVD) -Ausrüstung, die für ultrahochdichte Filmabscheidungsanwendungen und die Herstellung großflächiger Komponenten entwickelt wurde. Dieser Reaktor eignet sich für die Großproduktion von Komponenten für Infrastrukturanwendungen wie Photovoltaik, Telekom, LED, Display und andere Anwendungen. AMAT Ultima Reaktor ist für Folienebenheit und Totalreflexionsgleichförmigkeit bei Dünnschichtdicken optimiert. Dies macht es zu einer idealen Wahl für Anwendungen, die sehr gleichmäßige Schichten aus Keramik, Metallen und Verbundmaterialien erfordern. Der Reaktor besteht aus einer ultrapräzisen Filmsteuerung, einer Prozesskammer, die im wesentlichen wie eine Vakuumkuppel wirkt, einer Unterheizeinheit, die extreme Temperaturen erreichen kann, und einem oben angebrachten ringförmigen Quellsputtermodul. Der Reaktor enthält auch eine drehbare mehrspindlige Lastverriegelung, die einen einfachen Zugang zum Be- und Entladen von Substraten ermöglicht, während die Kammer unter Vakuumbedingungen gehalten wird. Die automatisierte Chip-Ladeeinheit und die Roboter-Handhabungsmaschine ermöglichen auch die Bearbeitung großer Wafer. Angewandte Materialien Ultima Reaktor verfügt über eine maximale Fertigungsrate von 30um Dicke pro Stunde, mit zerstäubten Abscheidungsraten bis zu 180 Minuten. Dieses Tool ist auch in fortschrittliche Prozessüberwachungstechnologien integriert, so dass die Betreiber die volle Kontrolle über ihre Prozessparameter übernehmen und gleichzeitig eine überlegene Produktqualität gewährleisten können. Das hocheffiziente Design des Ultima Reaktors ermöglicht die präzise und gleichmäßige Herstellung großflächiger Bauteile. Mit seinen fortschrittlichen Prozesssteuerungssystemen können Prozessingenieure Parameter nach Bedarf überwachen, verfolgen und anpassen, was zu einem optimierten Prozess und maximalem Durchsatz führt. Die fortschrittlichen Vakuum- und effizienten Gasströmungssysteme der Anlage fördern eine stabile, saubere Umgebung zur Herstellung einheitlicher Materialschichten. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reaktor ist das ideale Werkzeug für die Produktion von Präzisionsschichten von Materialien für Photovoltaik, Telekom, LED, Display und viele andere Anwendungen. Mit seinen optimierten Fertigungsraten, fortschrittlichen Prozessüberwachungsfunktionen und der gleichmäßigen Herstellung von Schichten ist der AMAT Ultima Reaktor eine ideale Wahl für großflächige Filmabscheidungen.
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