Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9298247 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reaktor ist ein Werkzeug der nächsten Generation zum dielektrischen Ätzen von Substraten auf Siliziumbasis, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden. AMAT Ultima ist ein leistungsstarker Plasmaätzreaktor mit hohem Durchsatz, der große Wafer verarbeiten und Materialien effektiv ätzen kann, ohne zusätzliche Chemikalien zu benötigen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die fortschrittliche Technologie des Ultima Reaktors bietet eine erhöhte Ätzgleichmäßigkeit, einen verbesserten Durchsatz und eine hervorragende Prozesskontrolle für das Ätzen in ULSI-Prozessen (Sub-Micron and Ultra-Large-Scale Integration). Ultima-Reaktor basiert auf einer dreifach freistehenden Sockelplattform, die drei verschiedene Arbeitsstationen mit jeweils einer eigenen Prozesskammer unterstützt. Ein integriertes Computersystem wird verwendet, um die Prozessparameter zu steuern und Umgebungsbedingungen wie Temperatur, Druck und atmosphärische Parameter zu überwachen. Zu den fortschrittlichen Funktionen gehören ein robustes Vakuumsystem, eine Vielzahl von Plasmaquellen und Gasverarbeitungsfunktionen. AMAT/APPLIED MATERIALS Die Plasmaquellen von Ultima sind in der Lage, Plasma bei Temperaturen von bis zu 4500 ° C zu erzeugen, und seine ultra-low-power-Technologie hat die Fähigkeit, hohe Ätzraten mit minimalem Ionenbeschuss und hoher Selektivität zu halten. Dies sorgt für höhere Ausbeuten bei hochwertigen Ergebnissen. Der AMAT Ultima Reaktor ist auch in der Lage, mit seinem On-Board ECR und induktiv gekoppelten Plasmaquellen zu maskieren und plastisch abzuscheiden, sowie die Oxidation der Unterschichten unterhalb der Oxidschicht zu kontrollieren. Das Bordcomputersystem integriert eine Vielzahl anspruchsvoller Funktionen wie Echtzeit-Prozessüberwachung, automatisiertes Rezept-Laden und Parameterabstimmung sowie erweiterte Fehlerdiagnose- und Diagnosesoftware. Es bietet auch Datenprotokollierung und -analyse, so dass Benutzer Zugriff auf sofortige Ergebnisse und sparen wertvolle Zeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Ultima kann eine Vielzahl von Materialien mit ausgezeichneter Selektivität und Gleichmäßigkeit handhaben, so dass es eine ideale Wahl für das dielektrische Ätzen von Substraten auf Siliziumbasis ist. Darüber hinaus ist Ultima Reaktor kostengünstig und energieeffizient, mit einem niedrigen Stromverbrauch von 12,52 kW, so dass es für die 24/7-Produktion geeignet ist. Außerdem sorgt es für einen umweltfreundlichen Betrieb mit seiner sauberen In-situ-Plasmaquelle, was den Bedarf an gefährlichen Chemikalien überflüssig macht. Insgesamt ist der Ultima-Reaktor ein fortschrittliches, hochqualitatives Werkzeug für das dielektrische Ätzen von Substraten auf Siliziumbasis, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Es bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und Prozesssteuerung für Sub-Mikron- und Ultra-LARGE SCALE INTEGRATION-Technologie, so dass es eine ideale Wahl für industrielle Anwendungen.