Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314618 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima
ID: 9314618
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
CVD System, 12" 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima ist ein anspruchsvoller ALD-Reaktor (Atomic Layer Deposition), der speziell für die Abscheidung dünner Materialschichten auf verschiedenen Substraten entwickelt wurde. AMAT Ultima ist ein Forschungs- und Entwicklungswerkzeug zur In-situ-Bewertung, das eine zuverlässige Abscheidung ultradünner Materialschichten auf Substraten wie Wafer, Nanopartikel und Pulver ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Ultima wurde für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen optimiert, darunter Dielektrika, Oxide, Nitride, Metalle und Materialien für neuartige Geräte. Ultima ALD-Reaktor arbeitet nach den Prinzipien der selbstbegrenzenden oberflächengesteuerten Chemie, die auf der Adsorption aufeinanderfolgender Monoschichten von Vorläufermolekülen auf das verarbeitete Substrat basiert. Dieser einzigartige Reaktor setzt eine Kombination aus einer hoch kontrollierbaren Vakuumkammer, einem hochpräzisen Massenstromregler (MFC) zur präzisen Lieferung von Vorläufern, einer Quarzkristall-Mikrobalance (QCM) für die In-situ-Prozessüberwachung, einem fortgeschrittenen rotierenden Substrathalter für die mehrschichtige und strukturierte Verarbeitung ierung und einem schnell einleitenden Kryopanel ein. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima ist in der Lage, eine präzise Kontrolle über Reaktionsparameter wie Prozessdruck, Gasdurchfluss, Temperatur, Reaktionszeiten und Anzahl der Abscheidungszyklen zu ermöglichen. Die erweiterten Steuerungsfunktionen des Reaktors ermöglichen es Anwendern, eine präzise Kontrolle des Abscheidungsprozesses zu erzielen und die Auswertung verschiedener Abscheidungsprozesse vor Ort zu ermöglichen. Darüber hinaus sorgen die automatischen Reaktionszyklen für zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse und sorgen für eine einfache und effiziente Nutzung des Systems. Das von AMAT Ultima eingesetzte ALD-Verfahren ist hochgradig atomar präzise. Diese Genauigkeit ermöglicht die großflächige Abscheidung gleichmäßiger Schichten sowie eine Vielzahl von strukturierten Substraten. Auch die von APPLIED MATERIALS Ultima abgeschiedenen Schichten sind extrem dünn und konform, so dass komplexe dreidimensionale Strukturen mit hoher Wiederholbarkeit und Genauigkeit entstehen können. Ultima ist ein äußerst vielseitiges und wertvolles Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung in Forschungs- und Fertigungsumgebungen. Seine Fähigkeit, hochkonforme dünne Folien in einer Vielzahl von Anwendungen genau und zuverlässig abzulegen, macht es die perfekte Wahl für diejenigen, die Präzision, Kontrolle und Genauigkeit in ihrem ALD-Prozess suchen.
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